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公开(公告)号：CN1123038C
公开(公告)日：2003-10-01
申请号：CN99106991.9
申请日：1999-06-04
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 本发明制作磁控管的方法包括：第一种混合气体生成过程，其中，通过将包括氮气和氢气的第一种运载气体混入没有致癌作用的液态碳氢化合物中生成第一种混合气体；第二种混合气体生成过程，其中，通过将包括氮气和氢气的第二种运载气体混入上述第一种混合气体中生成第二种混合气体；碳化物生成过程，其中，通过对置于上述第二种混合气体中的阴极实施加热，在阴极表面形成金属碳化物层，其中，所述的液态碳氢化合物是从甲苯、二甲苯和环己烷组成的组中选出的一种。及制作磁控管的设备。
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