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1.

发明公开
扫描曝光装置无效

公开(公告)号：CN1189632A

公开(公告)日：1998-08-05

申请号：CN97129712.6

申请日：1997-12-06

Applicant: 柯尼卡株式会社

Inventor： 佐藤恭彰 , 中根伸 , 纪太章 , 斋藤卓 , 岩井克敏

IPC: G03B27/50

Abstract: 一种曝光装置包括:光照射装置,用于把光照射到原像上;光学装置,用于把透光照射的原像或从照射的原像反射的光线作为原像的线条影像投射到曝光位置;传输装置,用于在线条影像投射到感光材料上时以一恒定速度传输感光材料;移动装置,用于在线条影像投射到感光材料上时以一确定速度移动原像;开始位置确定装置,用于确定原像的开始位置,在该位置处移动装置根据放大倍率或者原像的象密度开始移动原像。

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