光学混合元件和图象曝光装置

    公开(公告)号:CN1438512A

    公开(公告)日:2003-08-27

    申请号:CN03102517.X

    申请日:2003-02-09

    Inventor: 鈴木厚司

    CPC classification number: G03B27/42

    Abstract: 用于混合从不同方向入射的多束光后在1个方向上射出的光学器件,包含:分别接收从第1、第2和第3发光元件列射出的第1、第2和第3光的第1、第2和第3透明部件;设置接合第1透明部件和第2透明部件,在使第1以及第3光透过的同时使第2光在和已透过的第1以及第3光相同的方向上反射的第1光选择膜的第1接合面;设置接合第1透明部件和第3透明部件,在使第3光透过的同时使第1光在和已透过的第3光相同的方向上反射的第2光选择膜的第2接合面;使在第1光选择膜中在P偏振光从透过向反射转换时的波长和S偏振光从透过向反射转换时的波长的差异区域上,不包含第1光的波长区域的波长控制元件。

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