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公开(公告)号：CN116018517A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202180053982.9
申请日：2021-06-15
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: G01N29/06
Abstract: 超声波式检查装置(A)是检查用于制造膜的、至少一部分由金属部件形成的支承体的超声波式检查装置(A)，具备：发送接收部(11)，使用超声波探头(2)，经由接触介质向金属支承体内发送超声波，并且接收来自支承体的内部的超声波回波；断层图像生成部(12)，基于在利用超声波探头(2)对支承体内进行超声波扫描时在各扫描位置所检测出的超声波回波，生成支承体内的断层图像；评价部(13)，对断层图像进行图像解析，基于起因于从超声波探头(2)送出的超声波在支承体的金属部件的表面和里面之间的多重反射而在断层图像内表现出来的层状图像的形态，来评价支承体的内部的状态。
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