公开(公告)号：CN114364973B

公开(公告)日：2024-01-16

申请号：CN202080063954.0

申请日：2020-08-28

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 原田孝仁 ,  阿部芳久 ,  山田正之

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明提供一种表面缺陷判别装置、外观检查装置以及程序。具备：图像获取单元(10)，在一边使被检查物(5)相对于配置于不同位置的照明装置(2a)、(2b)、线传感器(1)相对地移动一边逐个切换来自各照明装置的照明光照射至被检查物时，每当切换来自各照明装置的照明光，就通过线传感器接受来自被检查物的反射光并进行拍摄，从而在分别位置偏移照明光的切换量的状态下获取多个图像；对位单元(10)，将获取到的对应于各照明装置的图像进行对位；以及判别单元(10)，从通过对位单元对位的图像中，判别被检查物的表面缺陷。

公开(公告)号：CN114364973A

公开(公告)日：2022-04-15

申请号：CN202080063954.0

申请日：2020-08-28

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 原田孝仁 ,  阿部芳久 ,  山田正之

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明提供一种表面缺陷判别装置、外观检查装置以及程序。具备：图像获取单元(10)，在一边使被检查物(5)相对于配置于不同位置的照明装置(2a)、(2b)、线传感器(1)相对地移动一边逐个切换来自各照明装置的照明光照射至被检查物时，每当切换来自各照明装置的照明光，就通过线传感器接受来自被检查物的反射光并进行拍摄，从而在分别位置偏移照明光的切换量的状态下获取多个图像；对位单元(10)，将获取到的对应于各照明装置的图像进行对位；以及判别单元(10)，从通过对位单元对位的图像中，判别被检查物的表面缺陷。