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发明公开
测定器、表面评价指标的运算方法以及程序审中-公开

公开(公告)号：CN117581077A

公开(公告)日：2024-02-20

申请号：CN202280044659.X

申请日：2022-06-13

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 持田尚吾 , 宇田拓史 , 寺冈良隆

IPC: G01B11/30

Abstract: 测定器具备：单一的照明部件(1)，能够对测定对象物照射照明光；二维光电变换部件(3)，配置于能够接受从照明部件(1)照射到测定对象物(100)的照明光的来自测定对象物的正反射光的位置；形状分布取得部件(4)，根据由二维光电变换部件(3)得到的电信号，取得测定对象物的表面形状分布；亮度分布取得部件(4)，根据由二维光电变换部件(4)得到的电信号，取得测定对象物的二维亮度分布；以及运算部件(4)，使用由形状分布取得部件取得的测定对象物的表面形状分布(101)和由亮度分布取得部件取得的测定对象物的二维亮度分布(102)中的至少任意一个，运算测定对象物的表面评价指标。

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