公开(公告)号：CN101061261A

公开(公告)日：2007-10-24

申请号：CN200580039376.2

申请日：2005-09-14

Applicant: 栗田工业株式会社

Inventor： 永井达夫 ,  池宫范人 ,  山川晴义 ,  小林秀树 ,  森田博志

IPC: C25D1/22 ,  C25B1/28 ,  B08B3/08 ,  H01L21/304

CPC classification number: C25B1/28 ,  B08B3/08 ,  B08B3/14 ,  C02F2103/346 ,  H01L21/67057

Abstract: 在使用过硫酸的清洗系统中，过硫酸浓度足够高、可提高清洗效果，同时得到可持续清洗的清洗系统。本发明提供向清洗装置供给过硫酸的供给装置。其具备：电解反应池(10)：通过电解反应由溶液中所含的硫酸离子生成过硫酸离子，再生过硫酸溶液；循环线路(4)、(5)、(6)：使过硫酸溶液在清洗池(1)和电解反应池(10)之间循环。通过该构成可得到供给装置。通过上述构成以及以过硫酸溶液(2)作为清洗液清洗被清洗材料(30)的清洗池(1)构建清洗系统。

公开(公告)号：CN101061261B

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：CN200580039376.2

申请日：2005-09-14

Applicant: 栗田工业株式会社

Inventor： 永井达夫 ,  池宫范人 ,  山川晴义 ,  小林秀树 ,  森田博志

IPC: C25D1/22 ,  C25B1/28 ,  B08B3/08 ,  H01L21/304

CPC classification number: C25B1/28 ,  B08B3/08 ,  B08B3/14 ,  C02F2103/346 ,  H01L21/67057

Abstract: 在使用过硫酸的清洗系统中，过硫酸浓度足够高、可提高清洗效果，同时得到可持续清洗的清洗系统。本发明提供向清洗装置供给过硫酸的供给装置。其具备：电解反应池(10)：通过电解反应由溶液中所含的硫酸离子生成过硫酸离子，再生过硫酸溶液；循环线路(4)、(5)、(6)：使过硫酸溶液在清洗池(1)和电解反应池(10)之间循环。通过该构成可得到供给装置。通过上述构成以及以过硫酸溶液(2)作为清洗液清洗被清洗材料(30)的清洗池(1)构建清洗系统。

公开(公告)号：CN102361824A

公开(公告)日：2012-02-22

申请号：CN201080013120.5

申请日：2010-03-30

Applicant: 栗田工业株式会社

Inventor： 床嶋裕人 ,  池宫范人 ,  小林秀树

IPC: C02F1/58 ,  B01D19/00 ,  B01J31/28 ,  C02F1/20

CPC classification number: C02F1/705 ,  B01J23/42 ,  B01J31/08 ,  B01J2231/005 ,  C02F1/20 ,  C02F1/42 ,  C02F2001/422 ,  C02F2101/10 ,  C02F2303/18 ,  C02F2305/00

Abstract: 本发明提供一种即使是含有％级的较高浓度的过氧化氢的排水，也可连续运转且进行稳定且有效率的处理的构成简易且较为小型的过氧化氢水处理装置。本发明的过氧化氢水处理装置，其使被处理水与过氧化氢分解催化剂接触，将该被处理水中的过氧化氢分解成氧和水，从而，获得处理水，其特征在于，具有：过氧化氢分解反应器(2)，其具有该被处理水的导入口与处理水的排出口，在内部被填充有过氧化氢分解催化剂(1)；及气液分离器(3)，其中导入该过氧化氢分解反应器(2)的流出水，并且，该气液分离器(3)是由在上部连接排气配管(13)、在下部连接排水配管(14)的筒状容器(4)所构成，在该筒状容器(4)的侧部导入前述流出水。