公开(公告)号：CN102348496A

公开(公告)日：2012-02-08

申请号：CN201080011488.8

申请日：2010-03-29

Applicant: 栗田工业株式会社

Inventor： 床嶋裕人 ,  濑尾启太

IPC: B01F1/00 ,  B01F5/06 ,  B08B3/08 ,  H01L21/304

CPC classification number: B08B3/08 ,  B01F3/04269 ,  B01F15/0022 ,  B01F15/00344 ,  B01F2003/04404 ,  B01F2215/0096 ,  Y10T137/0318 ,  Y10T137/8158 ,  Y10T137/86083

Abstract: 本发明提供一种气体溶解水供给装置及气体溶解水的制造方法，能稳定供给溶解气体浓度为低浓度(低饱和度)的气体溶解水。从气体供给配管(31)将氧气体供给到气相室(13)内，并且使真空泵(35)动作，将气相室(13)内真空排气。另外，从原水配管(21)将原水供给到液相室(12)内。气相室(13)内的氧的一部分系透过气体透过膜(11)，溶解于液相室(12)内的原水，而制造出气体溶解水。气相室(13)内的氧的剩余部分与凝结水一起被真空泵(35)吸引，从排气配管(33)排出。通过溶解气体浓度计(23)测量气体溶解水的溶解氧浓度，调节气体流量控制阀(32)的打开度，以使该测量浓度达到目标值。