公开(公告)号：CN101970137A

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：CN200980110111.5

申请日：2009-03-13

Applicant: 栗田工业株式会社

Inventor： 床岛裕人 ,  森田博志 ,  龟谷茂二

IPC: B08B3/08 ,  H01L21/304

CPC classification number: C02F1/68 ,  C02F1/66 ,  C02F1/685 ,  C02F1/727 ,  C02F1/74

Abstract: 本发明提供可以高效率地制造高浓度的溶气水、并将其循环供给使用地点的溶气水供给系统。用溶有气体(氧)的水清洗被清洗物后的废水(清洗废水)经由配管15积存在贮留槽1中，再经由补给水配管1a向贮留槽1中供给补给水。贮留槽1内的水经由压送泵2和用于保持水温恒定的热交换器3输送到纯化装置4中。通过纯化装置4除去了杂质的水经由流量计5输送到脱气装置6中。之后，通过气体溶解装置7溶解气体，添加药品后供给使用地点。