公开(公告)号：JP6917780B2

公开(公告)日：2021-08-11

申请号：JP2017107443

申请日：2017-05-31

Applicant: 株式会社キーエンス

Inventor： 木下 昌

IPC: G01N21/89 ,  G06T1/00 ,  G06T7/00 ,  G01B11/30

公开(公告)号：JP2018205004A

公开(公告)日：2018-12-27

申请号：JP2017107443

申请日：2017-05-31

Applicant: 株式会社キーエンス

Inventor： 木下 昌

IPC: G01N21/89 ,  G06T1/00 ,  G06T7/00 ,  G01B11/30

Abstract: 【課題】検査用画像を得るための照明回数及び撮像回数が多くなる場合であっても照明タイミングと撮像タイミングとのずれを極めて小さくできるようにして検査の更なる高速化を実現する。 【解決手段】外部からの一のエンコーダパルス信号を受け付けると、照明部の照明条件及び撮像部の撮像条件の少なくとも一方を変化させて複数の輝度画像が生成されるように、撮像部に対して複数の撮像トリガ信号を順次送信する。 【選択図】図35