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公开(公告)号:JP2019046704A
公开(公告)日:2019-03-22
申请号:JP2017170242
申请日:2017-09-05
Applicant: 株式会社リガク
IPC: H01J35/10
Abstract: 【課題】回転ターゲットの内部にセパレータによって冷媒流入路と冷媒流出路とを設けるようにしたX線発生装置において、トルクの負担を軽減すること、及び振動を軽減することを目的とする。 【解決手段】電子eを受けてX線Rを発生するターゲット22と、ターゲット22の内部空間を冷媒流入路39aと冷媒流出路39bとに分けるセパレータ15と、ターゲット22を回転させるモータ31と、冷媒流入路39aへ冷媒を供給し冷媒流出路39bを通して冷媒を回収する冷媒流入路8a及び冷媒流出路10bとを有するX線発生装置1において、セパレータ15はターゲット22が回転するときにそのターゲット22の回転方向と同じ方向へ回転する。 【選択図】図2
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公开(公告)号:JP2016213078A
公开(公告)日:2016-12-15
申请号:JP2015096316
申请日:2015-05-11
Applicant: 株式会社リガク
CPC classification number: H01J35/14 , H01J35/025 , H01J35/08 , H05G1/02 , H05G1/26 , H01J2235/081 , H01J2235/086 , H01J2235/088
Abstract: 【課題】電子標的における電子線のビームサイズを容易に測定することが可能となるX線発生装置、及びその調整方法の提供。 【解決手段】{第1の金属と、前記第1の金属と異なる金属である第2の金属と、前記第2の金属と異なる金属である第3の金属と、が順に連続して第1の方向に沿って並んで配置される、電子標的}を備える。 【選択図】図1
Abstract translation: 甲X射线产生装置使得能够容易地测量在电子靶的电子束的光束尺寸,并且提供调整的方法。 和A {第一金属,即从金属与第一金属不同的第二金属和第三金属是从不同金属和所述第二金属的,但首先相继以该顺序 沿着方向,电子靶}布置。 点域1
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公开(公告)号:JP6377572B2
公开(公告)日:2018-08-22
申请号:JP2015096316
申请日:2015-05-11
Applicant: 株式会社リガク
CPC classification number: H01J35/14 , H01J35/025 , H01J35/08 , H01J2235/081 , H01J2235/086 , H01J2235/088 , H05G1/02 , H05G1/26
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