公开(公告)号：JP6377572B2

公开(公告)日：2018-08-22

申请号：JP2015096316

申请日：2015-05-11

Applicant: 株式会社リガク

Inventor： 野々口 雅弘 ,  野口 学 ,  加藤 光一 ,  西田 隆二 ,  日下 雄二 ,  影山 将史 ,  茶木 友弘

IPC: H01J35/08 ,  H01J35/14 ,  H01J35/30

CPC classification number: H01J35/14 ,  H01J35/025 ,  H01J35/08 ,  H01J2235/081 ,  H01J2235/086 ,  H01J2235/088 ,  H05G1/02 ,  H05G1/26

公开(公告)号：JP6478288B2

公开(公告)日：2019-03-06

申请号：JP2016547797

申请日：2015-08-18

Applicant: 株式会社リガク

Inventor： 茶木 友弘 ,  野口 学

IPC: H01J35/16 ,  H01J35/10 ,  H01J35/28

公开(公告)号：JP6478289B2

公开(公告)日：2019-03-06

申请号：JP2016547798

申请日：2015-08-18

Applicant: 株式会社リガク

Inventor： 茶木 友弘 ,  野口 学

IPC: H01J35/28 ,  H01J35/10

公开(公告)号：JP2016213078A

公开(公告)日：2016-12-15

申请号：JP2015096316

申请日：2015-05-11

Applicant: 株式会社リガク

Inventor： 野々口 雅弘 ,  野口 学 ,  加藤 光一 ,  西田 隆二 ,  日下 雄二 ,  影山 将史 ,  茶木 友弘

IPC: H01J35/08 ,  H01J35/14 ,  H01J35/30

CPC classification number: H01J35/14 ,  H01J35/025 ,  H01J35/08 ,  H05G1/02 ,  H05G1/26 ,  H01J2235/081 ,  H01J2235/086 ,  H01J2235/088

Abstract: 【課題】電子標的における電子線のビームサイズを容易に測定することが可能となるX線発生装置、及びその調整方法の提供。 【解決手段】{第1の金属と、前記第1の金属と異なる金属である第2の金属と、前記第2の金属と異なる金属である第3の金属と、が順に連続して第1の方向に沿って並んで配置される、電子標的}を備える。 【選択図】図1

Abstract translation: 甲X射线产生装置使得能够容易地测量在电子靶的电子束的光束尺寸，并且提供调整的方法。 和A {第一金属，即从金属与第一金属不同的第二金属和第三金属是从不同金属和所述第二金属的，但首先相继以该顺序 沿着方向，电子靶}布置。 点域1