-
公开(公告)号:CN102749058B
公开(公告)日:2016-04-20
申请号:CN201210117021.2
申请日:2012-04-19
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B5/0016 , G01B3/008 , G01B5/016 , G01B5/28
Abstract: 本发明提供一种表面性状测量仪。在该表面性状测量仪中,测量臂(24)包括:第1测量臂(24A),其在壳体(28)内以旋转轴(23)为支点能够进行圆弧运动地支承在托架(22)上;以及第2测量臂(24B),其借助装卸机构(25)以能够装卸的方式设置在该第1测量臂的顶端,在第2测量臂(24B)的顶端具有测针(26A、26B);装卸机构配置在壳体内。用于检测测量臂的圆弧运动量的位移检测器(27)包括:标尺(27A),其配置在测量臂上;以及检测头,其以与标尺相对的方式配置在托架(22)上;标尺的检测面配置在测量臂的轴线上并且配置在测量臂的圆弧运动面上。
-
公开(公告)号:CN102749058A
公开(公告)日:2012-10-24
申请号:CN201210117021.2
申请日:2012-04-19
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B5/0016 , G01B3/008 , G01B5/016 , G01B5/28
Abstract: 本发明提供一种表面性状测量仪。在该表面性状测量仪中,测量臂(24)包括:第1测量臂(24A),其在壳体(28)内以旋转轴(23)为支点能够进行圆弧运动地支承在托架(22)上;以及第2测量臂(24B),其借助装卸机构(25)以能够装卸的方式设置在该第1测量臂的顶端,在第2测量臂(24B)的顶端具有测针(26A、26B);装卸机构配置在壳体内。用于检测测量臂的圆弧运动量的位移检测器(27)包括:标尺(27A),其配置在测量臂上;以及检测头,其以与标尺相对的方式配置在托架(22)上;标尺的检测面配置在测量臂的轴线上并且配置在测量臂的圆弧运动面上。
-
-