公开(公告)号：CN1441224A

公开(公告)日：2003-09-10

申请号：CN03106343.8

申请日：2003-02-25

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 大崎基弘 ,  富谷雅树

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/04

CPC classification number: G01D5/38

Abstract: 使多束光线在标尺10的入射位置10A、10B或在标尺光栅12B上的衍射点错开大于标尺光栅上的光束束径的距离，同时使各光束在标尺的入射角θ和衍射角Φ大致相等。由此可使信号强度不易受到间距角偏移的影响，且可获得良好的信号。所以，在设备上的安装及装置的操作更加简便。

公开(公告)号：CN1215308C

公开(公告)日：2005-08-17

申请号：CN03106343.8

申请日：2003-02-25

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 大崎基弘 ,  富谷雅树

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/04 ,  G01D5/38

CPC classification number: G01D5/38

Abstract: 使多束光线在标尺10的入射位置10A、10B或在标尺光栅12B上的衍射点错开大于标尺光栅上的光束束径的距离，同时使各光束在标尺的入射角θ和衍射角Φ大致相等。由此可使信号强度不易受到间距角偏移的影响，且可获得良好的信号。所以，在设备上的安装及装置的操作更加简便。