公开(公告)号：CN105627919A

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201510845594.0

申请日：2015-11-26

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 西尾幸真 ,  岩田俊一 ,  森内荣介

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/25

Abstract: 本发明涉及一种图像测量设备和测量设备。该图像测量设备包括：样品台，其具有放置要测量的对象的放置面；摄像设备，该摄像设备与样品台的放置面相对，并且用于拍摄要测量的对象的图像；以及图案投影设备，用于将预定图案投影在样品台上，其中该预定图案针对放置面上的要测量的对象的放置位置和方向中的至少之一提供基准。

公开(公告)号：CN105627919B

公开(公告)日：2020-04-24

申请号：CN201510845594.0

申请日：2015-11-26

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 西尾幸真 ,  岩田俊一 ,  森内荣介

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/25

Abstract: 本发明涉及一种图像测量设备和测量设备。该图像测量设备包括：样品台，其具有放置要测量的对象的放置面；摄像设备，该摄像设备与样品台的放置面相对，并且用于拍摄要测量的对象的图像；以及图案投影设备，用于将预定图案投影在样品台上，其中该预定图案针对放置面上的要测量的对象的放置位置和方向中的至少之一提供基准。