公开(公告)号：CN106017313B

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN201610195301.3

申请日：2016-03-30

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 吉田博行 ,  高田彰 ,  海江田诚 ,  张玉武 ,  小松浩一 ,  浅野秀光 ,  花村尚史 ,  前田拓甫 ,  德原功

IPC: G01B11/00

Abstract: 本发明提供了一种边缘检测偏差校正值计算、边缘检测偏差校正方法及设备。其中，利用图像测量装置，来测量彼此相对且展现出相反的明暗变化的第一组边缘之间在扫描方向上的距离；以及基于测量值和真实值之间的差来计算偏差校正值。使用上述偏差校正值，来计算作为使用图像测量装置对测量对象进行扫描所检测到的边缘检测点的各方向上的校正值的检测点校正值；基于各方向上的检测点校正值来指定边缘检测点的校正中所使用的校正量；以及使用该校正量来对边缘检测点进行校正。

公开(公告)号：CN106017313A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610195301.3

申请日：2016-03-30

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 吉田博行 ,  高田彰 ,  海江田诚 ,  张玉武 ,  小松浩一 ,  浅野秀光 ,  花村尚史 ,  前田拓甫 ,  德原功

IPC: G01B11/00

Abstract: 本发明提供了一种边缘检测偏差校正值计算、边缘检测偏差校正方法及设备。其中，利用图像测量装置，来测量彼此相对且展现出相反的明暗变化的第一组边缘之间在扫描方向上的距离；以及基于测量值和真实值之间的差来计算偏差校正值。使用上述偏差校正值，来计算作为使用图像测量装置对测量对象进行扫描所检测到的边缘检测点的各方向上的校正值的检测点校正值；基于各方向上的检测点校正值来指定边缘检测点的校正中所使用的校正量；以及使用该校正量来对边缘检测点进行校正。