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公开(公告)号：CN103134458A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201210476748.X
申请日：2012-11-21
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种表面形貌测量设备，其包括：测量臂表格，对于附接有具有不同质量的第二测量臂的各类型的测量臂，该测量臂表格存储整个测量臂的质量、从支撑点到触针的臂长以及测量臂在水平姿态的水平重心和竖直重心；测量臂指定部；倾角检测器，其检测检测器的倾角；和控制器，其从测量臂表格读出指定的测量臂的质量、臂长、水平重心和竖直重心，基于读出的信息和由倾角检测器检测到的倾角来计算测量臂在水平姿态的测量力与测量臂在倾斜姿态的测量力之间的差，并调节测量力。
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公开(公告)号：CN110657739A
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201910574688.7
申请日：2019-06-28
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供一种表面性状测定装置的控制方法，使得在自动设置时不使触针的顶端产生位移。通过相对移动机构使测定器与测定对象面在Z轴方向上进行相对移动以使测定器与测定对象面接近，探测触针的顶端是否接触到测定对象面，计算从触针的顶端接触到测定对象面起直到测定臂变为水平为止所需要的、测定器与测定对象物的在Z轴方向上的相对位移量ΔZ0，并计算在测定器与测定对象物在Z轴方向上相对移动了ΔZ0时触针的顶端所产生的X轴方向的位移量ΔX0，在通过相对移动机构使测定器与测定对象物在Z轴方向上相对移动ΔZ0来使测定臂成为水平的同时，通过相对移动机构使测定器与测定对象物在X轴方向上相对位移ΔX0。
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公开(公告)号：CN110657739B
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN201910574688.7
申请日：2019-06-28
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供一种表面性状测定装置的控制方法，使得在自动设置时不使触针的顶端产生位移。通过相对移动机构使测定器与测定对象面在Z轴方向上进行相对移动以使测定器与测定对象面接近，探测触针的顶端是否接触到测定对象面，计算从触针的顶端接触到测定对象面起直到测定臂变为水平为止所需要的、测定器与测定对象物的在Z轴方向上的相对位移量ΔZ0，并计算在测定器与测定对象物在Z轴方向上相对移动了ΔZ0时触针的顶端所产生的X轴方向的位移量ΔX0，在通过相对移动机构使测定器与测定对象物在Z轴方向上相对移动ΔZ0来使测定臂成为水平的同时，通过相对移动机构使测定器与测定对象物在X轴方向上相对位移ΔX0。
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公开(公告)号：CN103134458B
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201210476748.X
申请日：2012-11-21
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种表面形貌测量设备，其包括：测量臂表格，对于附接有具有不同质量的第二测量臂的各类型的测量臂，该测量臂表格存储整个测量臂的质量、从支撑点到触针的臂长以及测量臂在水平姿态的水平重心和竖直重心；测量臂指定部；倾角检测器，其检测检测器的倾角；和控制器，其从测量臂表格读出指定的测量臂的质量、臂长、水平重心和竖直重心，基于读出的信息和由倾角检测器检测到的倾角来计算测量臂在水平姿态的测量力与测量臂在倾斜姿态的测量力之间的差，并调节测量力。
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