公开(公告)号：CN112304270B

公开(公告)日：2024-12-03

申请号：CN202010744789.7

申请日：2020-07-29

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 石井一成 ,  竹村文宏

IPC: G01B21/20

Abstract: 本发明提供一种形状测定装置和形状测定方法。形状测定装置(100)是对包括多个已知形状部和多个未知形状部且已知形状部隔着未知形状部周期性地配置的测定对象进行测定的测定装置。该形状测定装置(100)具备具有能够接触测定对象的触头的仿形测头、使仿形测头移动的移动机构、控制移动机构来实施自主仿形测定的自主仿形测定部(143)、运算仿形测头的移动路径的测定路径计算部(23)以及控制移动机构来使仿形测头沿着移动路径移动并实施设计值仿形测定的设计值仿形测定部(142)，其中，测定路径计算部(23)基于由自主仿形测定部(143)测定出的未知形状部的测定结果和已知形状部的设计数据，来计算针对测定对象的移动路径。

公开(公告)号：CN112304270A

公开(公告)日：2021-02-02

申请号：CN202010744789.7

申请日：2020-07-29

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 石井一成 ,  竹村文宏

IPC: G01B21/20

Abstract: 本发明提供一种形状测定装置和形状测定方法。形状测定装置(100)是对包括多个已知形状部和多个未知形状部且已知形状部隔着未知形状部周期性地配置的测定对象进行测定的测定装置。该形状测定装置(100)具备具有能够接触测定对象的触头的仿形测头、使仿形测头移动的移动机构、控制移动机构来实施自主仿形测定的自主仿形测定部(143)、运算仿形测头的移动路径的测定路径计算部(23)以及控制移动机构来使仿形测头沿着移动路径移动并实施设计值仿形测定的设计值仿形测定部(142)，其中，测定路径计算部(23)基于由自主仿形测定部(143)测定出的未知形状部的测定结果和已知形状部的设计数据，来计算针对测定对象的移动路径。