基座支承装置
    1.
    发明公开
    基座支承装置 审中-公开

    公开(公告)号:CN119772616A

    公开(公告)日:2025-04-08

    申请号:CN202411356143.6

    申请日:2024-09-27

    Abstract: 本发明涉及一种基座支承装置。加工机(基座支承装置)具备:基座,其具有构成水平面的上表面,该水平面包含X方向和Y方向;第一支承部,其分别设置于基座的X方向上的两端侧,在Z方向上支承基座;第二支承部,其配置于基座的由第一支承部支承的两端侧之间,在Z方向上支承基座,并且能够调整在Z方向上支承基座的支承位置;挠曲检测部,其检测基座在向Z方向上的挠曲量;以及挠曲控制部,其控制第二支承部,其中,挠曲控制部基于由挠曲检测部检测的挠曲量来控制第二支承部,以使上表面与X方向平行。

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