公开(公告)号：CN107796352A

公开(公告)日：2018-03-13

申请号：CN201710775342.4

申请日：2017-08-31

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 中山树 ,  石桥一成

IPC: G01B21/20

CPC classification number: G01B5/201 ,  G01B21/20

Abstract: 一种圆度测量装置，包括：角度检测器，用于检测载物台相对于X轴方向的当前转动角度；操纵杆(外部操作器)，用于指示载物台的转动轴线的操作量；定心控制器，用于根据操作量和转动角度来计算CX轴移动量和CY轴移动量，并且基于所计算出的CX轴移动量和CY轴移动量来移动CX轴移动机构和CY轴移动机构；以及水平调整控制器，用于根据操作量和转动角度来计算LX轴倾斜量和LY轴倾斜量，并且基于所计算出的LX轴倾斜量和LY轴倾斜量来移动LX轴移动机构和LY轴移动机构。

公开(公告)号：CN107796352B

公开(公告)日：2021-01-26

申请号：CN201710775342.4

申请日：2017-08-31

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 中山树 ,  石桥一成

IPC: G01B21/20

Abstract: 一种圆度测量装置，包括：角度检测器，用于检测载物台相对于X轴方向的当前转动角度；操纵杆(外部操作器)，用于指示载物台的转动轴线的操作量；定心控制器，用于根据操作量和转动角度来计算CX轴移动量和CY轴移动量，并且基于所计算出的CX轴移动量和CY轴移动量来移动CX轴移动机构和CY轴移动机构；以及水平调整控制器，用于根据操作量和转动角度来计算LX轴倾斜量和LY轴倾斜量，并且基于所计算出的LX轴倾斜量和LY轴倾斜量来移动LX轴移动机构和LY轴移动机构。