公开(公告)号：CN101566485B

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN200910137722.0

申请日：2009-04-27

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 富永淳 ,  神野大

IPC: G01D5/34

CPC classification number: G01D5/34707

Abstract: 本发明提供光电编码器的光栅尺，该光栅尺有效地保护其基底不腐蚀、锈蚀和破裂。该光栅尺具有：基底(10)；吸光层(12)，包括至少形成在基底(10)的表面的区域上的DLC层；以及反光层(14)，对落入波长范围的光具有比吸光层(12)更高的反射率，并且在吸光层(12)上形成为光栅。

公开(公告)号：CN101566485A

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：CN200910137722.0

申请日：2009-04-27

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 富永淳 ,  神野大

IPC: G01D5/34

CPC classification number: G01D5/34707

Abstract: 本发明提供光电编码器的光栅尺，该光栅尺有效地保护其基底不腐蚀、锈蚀和破裂。该光栅尺具有：基底(10)；吸光层(12)，包括至少形成在基底(10)的表面的区域上的DLC层；以及反光层(14)，对落入波长范围的光具有比吸光层(12)更高的反射率，并且在吸光层(12)上形成为光栅。