公开(公告)号：CN1172248A

公开(公告)日：1998-02-04

申请号：CN97110317.8

申请日：1997-04-04

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 立花俊作 ,  依田幸二 ,  冈部宪嗣

IPC: G01B11/02

CPC classification number: G01B11/02 ,  G01B11/007 ,  G01B11/24

Abstract: 以自由旋转的方式将反射镜保持环21设置在光学系统3的物镜12的外周,将光路变向反射镜22的上端部以自由旋转的方式支撑在该反射镜保持环21上。在光路变向反射镜22与光学系统3的光轴平行的状态下,来自光学系统3的光垂直向下照射在被测物的上表面上。以上端部为支点使光路变向反射镜22旋转,相对于光学系统3的光轴倾斜45度时,来自光学系统3的光改变90度方向而照射在被测物的侧面。因此不改变被测物的姿态就能测定侧面的形状等。

公开(公告)号：CN1145013C

公开(公告)日：2004-04-07

申请号：CN97110317.8

申请日：1997-04-04

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 立花俊作 ,  依田幸二 ,  冈部宪嗣

IPC: G01B11/00

CPC classification number: G01B11/02 ,  G01B11/007 ,  G01B11/24

Abstract: 以自由旋转的方式将反射镜保持环(21)设置在光学系统(3)的物镜(12)的外周，将光路变向反射镜(22)的上端部以自由旋转的方式支撑在该反射镜保持环(21)上。在光路变向反射镜(22)与光学系统(3)的光轴平行的状态下，来自光学系统(3)的光垂直向下照射在被测物的上表面上。以上端部为支点使光路变向反射镜(22)旋转，相对于光学系统(3)的光轴倾斜45度时，来自光学系统(3)的光改变90度方向而照射在被测物的侧面。因此不改变被测物的姿态就能测定侧面的形状等。

公开(公告)号：CN1093943C

公开(公告)日：2002-11-06

申请号：CN97104689.1

申请日：1997-05-20

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 立花俊作 ,  冈部宪嗣 ,  下川清治

IPC: G02B7/36

CPC classification number: G02B21/245 ,  G02B21/244

Abstract: 本发明提供一种自动聚焦装置，该装置包括使光会聚在被测定物的测定面上的物镜(14)，根据从该物镜(14)射出的光可以观察被测定物像的CCD摄象机(24)，根据该CCD摄象机24获得的被测定物像的对比度使物镜沿其光轴移动的激励机构，其特征在于还包括照明装置(25)，投影透镜(21)和显示确定图形的液晶板(22)，并且设置使确定图形投影在被测定物的测定面上的图形投影机构(20)。

公开(公告)号：CN1176396A

公开(公告)日：1998-03-18

申请号：CN97104689.1

申请日：1997-05-20

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 立花俊作 ,  冈部宪嗣 ,  下川清治

IPC: G02B7/28

CPC classification number: G02B21/245 ,  G02B21/244

Abstract: 本发明提供一种自动聚焦装置,该装置包括使光会聚在被测定物的测定面上的物镜(14),根据从该物镜(14)射出的光可以观察被测定物像的CCD摄象机(24),根据该CCD摄象机24获得的被测定物像的对比度使物镜沿其光轴移动的激励机构,其特征在于还包括照明装置(25),投影透镜(21)和显示确定图形的液晶板(22),并且设置使确定图形投影在被测定物的测定面上的图形投影机构(20)。