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公开(公告)号:CN107884903B
公开(公告)日:2020-11-03
申请号:CN201710905759.8
申请日:2017-09-29
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G02B7/28
Abstract: 提供了可变焦距(VFL)透镜系统,其包括可调谐声学梯度(TAG)透镜和用于提供聚焦监测信号的光学聚焦监测配置,所述聚焦监测信号以高精度并且在没有显著延迟的情况下反映聚焦状态。将输入照明图案透射通过TAG透镜以提供具有取决于TAG透镜的光焦度的大小和强度的对应的输出照明图案。光学聚焦信号检测器部分包括滤光配置和聚焦光电检测器,其提供关于聚焦光电检测器接收的总光能而变化的聚焦输出信号,其中,滤光配置接收输出照明图案并限制到达聚焦光电检测器的包括的聚焦检测光的量。基于由聚焦光电检测器提供的聚焦输出信号提供聚焦监测信号。
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公开(公告)号:CN107884903A
公开(公告)日:2018-04-06
申请号:CN201710905759.8
申请日:2017-09-29
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G02B7/28
Abstract: 提供了可变焦距(VFL)透镜系统,其包括可调谐声学梯度(TAG)透镜和用于提供聚焦监测信号的光学聚焦监测配置,所述聚焦监测信号以高精度并且在没有显著延迟的情况下反映聚焦状态。将输入照明图案透射通过TAG透镜以提供具有取决于TAG透镜的光焦度的大小和强度的对应的输出照明图案。光学聚焦信号检测器部分包括滤光配置和聚焦光电检测器,其提供关于聚焦光电检测器接收的总光能而变化的聚焦输出信号,其中,滤光配置接收输出照明图案并限制到达聚焦光电检测器的包括的聚焦检测光的量。基于由聚焦光电检测器提供的聚焦输出信号提供聚焦监测信号。
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