用于高速周期性调制的可变焦距透镜的自动聚焦系统

    公开(公告)号:CN107340669A

    公开(公告)日:2017-11-10

    申请号:CN201710303501.0

    申请日:2017-05-03

    Abstract: 一种用于提供自动聚焦图像的系统包括:包括高速周期调制的可变焦距(VFL)透镜的成像系统、VFL透镜控制器、VFL投射光源、聚焦确定部分、曝光定时调整电路、和曝光选通时间控制器。聚焦确定部分包括光学检测器,其输入通过VFL透镜投射到工件并从工件反射的反射的VFL投射光,并提供聚焦偏差信号。曝光定时调整电路基于聚焦偏差信号提供曝光定时调整信号,其指示当成像系统聚焦Z高度与工件表面Z高度近似重合时的时间。曝光选通时间控制器使用曝光定时调整信号来调整图像曝光时间,使得成像系统聚焦Z高度在调整后的图像曝光时间与工件表面Z高度重合。

    用于高速周期性调制的可变焦距透镜的自动聚焦系统

    公开(公告)号:CN107340669B

    公开(公告)日:2019-10-18

    申请号:CN201710303501.0

    申请日:2017-05-03

    Abstract: 一种用于提供自动聚焦图像的系统包括:包括高速周期调制的可变焦距(VFL)透镜的成像系统、VFL透镜控制器、VFL投射光源、聚焦确定部分、曝光定时调整电路、和曝光选通时间控制器。聚焦确定部分包括光学检测器,其输入通过VFL透镜投射到工件并从工件反射的反射的VFL投射光,并提供聚焦偏差信号。曝光定时调整电路基于聚焦偏差信号提供曝光定时调整信号,其指示当成像系统聚焦Z高度与工件表面Z高度近似重合时的时间。曝光选通时间控制器使用曝光定时调整信号来调整图像曝光时间,使得成像系统聚焦Z高度在调整后的图像曝光时间与工件表面Z高度重合。

    包括可变焦距透镜的成像系统中的色差校正

    公开(公告)号:CN107071258B

    公开(公告)日:2020-09-22

    申请号:CN201610825951.1

    申请日:2016-09-14

    Abstract: 一种图像获取系统,被操作为提供相对不受纵向色差影响的图像。所述系统包括被操作为周期性调制聚焦位置的可变焦距透镜(例如可调谐声学梯度折射率透镜)。通过操作照射系统来提供第一波长、第二波长、第三波长等(例如绿色、蓝色、红色等)的选通式照射的实例而提供第一波长图像曝光贡献、第二波长图像曝光贡献、第三波长图像曝光贡献等,其被定时为与在同一聚焦平面处聚焦各个波长图像曝光贡献的周期性调制的聚焦位置的各个相位定时对应。周期性调制的聚焦位置的各个相位定时补偿至少可变焦距透镜的纵向色差。通过组合图像曝光贡献来产生相对不受纵向色差影响的图像。

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