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公开(公告)号：CN111141200A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911058456.2
申请日：2019-11-01
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 用于扫描探头中的探针位置测量的感应式位置检测器(IPD)，其包括沿着中心轴线定位在探头中的线圈板配置，运动体积在线圈板配置的相对侧上延伸。线圈板配置包括N个顶部旋转感测线圈(RSCs)和顶部轴向感测线圈配置(ASCC)，以及N个底部RSC和底部ASCC。一对探针联接的导电扰动器在运动体积中沿Z(轴向)和X-Y(旋转)方向移动。线圈板配置的产生线圈(GC)产生变化的磁通量(例如，包含所有或至少一部分扰动器)，并且线圈信号指示扰动器和/或探针位置。在一些实施方式中，导线扰动器的面积可以大于产生线圈的面积，且导电扰动器可以各自包括多个同心的导电回路、螺旋线等。
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公开(公告)号：CN111141199A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911058384.1
申请日：2019-11-01
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种用于扫描探头中的探针位置测量的感应式位置检测器(IPD)包括在探针中沿中心轴线定位的两个基板，它们之间具有运动体积，其每一个包括N个旋转感测线圈(RSCs)和相应的轴向感测线圈配置(ASCC)。探针联接的导电扰动器在运动体积中沿Z(轴向)和X-Y(旋转)方向移动。产生线圈(GC)产生变化的磁通量，其包含扰动器和线圈，且线圈信号指示扰动器和/或探针位置。扰动器的轴向投影限定具有ASCC的轴向感测重叠区域(ASOA)和具有相应的RSC的旋转感测重叠区域(RSOA)。IPD配置为使得ASOA独立于扰动器位置，且提供RSC的N个互补对(CP)，其中CP的两个线圈中的RSOA的变化的幅度对于任何扰动器位移相同。
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公开(公告)号：CN111141200B
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN201911058456.2
申请日：2019-11-01
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 用于扫描探头中的探针位置测量的感应式位置检测器(IPD)，其包括沿着中心轴线定位在探头中的线圈板配置，运动体积在线圈板配置的相对侧上延伸。线圈板配置包括N个顶部旋转感测线圈(RSCs)和顶部轴向感测线圈配置(ASCC)，以及N个底部RSC和底部ASCC。一对探针联接的导电扰动器在运动体积中沿Z(轴向)和X‑Y(旋转)方向移动。线圈板配置的产生线圈(GC)产生变化的磁通量(例如，包含所有或至少一部分扰动器)，并且线圈信号指示扰动器和/或探针位置。在一些实施方式中，导线扰动器的面积可以大于产生线圈的面积，且导电扰动器可以各自包括多个同心的导电回路、螺旋线等。
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公开(公告)号：CN111141199B
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN201911058384.1
申请日：2019-11-01
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种用于扫描探头中的探针位置测量的感应式位置检测器(IPD)包括在探针中沿中心轴线定位的两个基板，它们之间具有运动体积，其每一个包括N个旋转感测线圈(RSCs)和相应的轴向感测线圈配置(ASCC)。探针联接的导电扰动器在运动体积中沿Z(轴向)和X‑Y(旋转)方向移动。产生线圈(GC)产生变化的磁通量，其包含扰动器和线圈，且线圈信号指示扰动器和/或探针位置。扰动器的轴向投影限定具有ASCC的轴向感测重叠区域(ASOA)和具有相应的RSC的旋转感测重叠区域(RSOA)。IPD配置为使得ASOA独立于扰动器位置，且提供RSC的N个互补对(CP)，其中CP的两个线圈中的RSOA的变化的幅度对于任何扰动器位移相同。
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