公开(公告)号：CN114846586B

公开(公告)日：2025-04-18

申请号：CN202180007482.1

申请日：2021-04-14

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 石川一政

IPC: H01L21/304 ,  B23D5/00 ,  B23Q11/10 ,  B24B41/06 ,  H01L21/301 ,  B23Q17/20

Abstract: 本发明提供一种快速切削装置，其用于对在外面上形成有隆起的工件进行安全地加工。一种快速切削装置(1)，其用于对粘贴于工件(7)上的BG膜(75)的上面(75c)进行切削，该工件(7)包括于外面(72)上形成有隆起(71)的隆起区域(73)和隆起区域(73)周围的外周区域(74)，该快速切削装置(1)包括：快速切削工具(21)、工具主轴(22)和卡盘(3)，上述工具主轴(22)在其下端安装有快速切削工具(21)，该工具主轴(22)可在快速切削工具(21)旋转的状态下升降，上述卡盘(3)以能旋转的方式保持工件(7)，快速切削工具(21)对BG膜(75)的上面(75c)从中心向外周进行切削。

公开(公告)号：CN114846586A

公开(公告)日：2022-08-02

申请号：CN202180007482.1

申请日：2021-04-14

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 石川一政

IPC: H01L21/304 ,  B23D5/00 ,  B23Q11/10 ,  B24B41/06 ,  H01L21/301 ,  B23Q17/20

Abstract: [课题]本发明提供一种快速切削装置，其用于对在外面上形成有隆起的工件进行安全地加工。[解决手段]一种快速切削装置(1)，其用于对粘贴于工件(7)上的BG膜(75)的上面(75c)进行切削，该工件(7)包括于外面(72)上形成有隆起(71)的隆起区域(73)和隆起区域(73)周围的外周区域(74)，该快速切削装置(1)包括：快速切削工具(21)、工具主轴(22)和卡盘(3)，上述工具主轴(22)在其下端安装有快速切削工具(21)，该工具主轴(22)可在快速切削工具(21)旋转的状态下升降，上述卡盘(3)以能旋转的方式保持工件(7)，快速切削工具(21)对BG膜(75)的上面(75c)从中心向外周进行切削。