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公开(公告)号:CN106140576A
公开(公告)日:2016-11-23
申请号:CN201510194845.3
申请日:2015-04-22
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 本发明涉及用浸涂法在基板上形成膜厚分布均匀的涂膜的浸涂用保持夹具及使用其的浸涂系统。实施方式所涉及的浸涂用保持夹具具有保持部件,在至少一部分具有多孔质体,能插入基板中央区域的第1贯通孔。
公开(公告)号:CN106140576A
公开(公告)日:2016-11-23
申请号:CN201510194845.3
申请日:2015-04-22
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 本发明涉及用浸涂法在基板上形成膜厚分布均匀的涂膜的浸涂用保持夹具及使用其的浸涂系统。实施方式所涉及的浸涂用保持夹具具有保持部件,在至少一部分具有多孔质体,能插入基板中央区域的第1贯通孔。