公开(公告)号：CN1321243A

公开(公告)日：2001-11-07

申请号：CN00801886.3

申请日：2000-07-07

Applicant: 株式会社东金

Inventor： 上野亨 ,  森和也 ,  吉田哲男

IPC: G01L1/14 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01B7/22 ,  G01L1/142 ,  G01L1/144 ,  G01L1/148 ,  G01L3/106 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0828

Abstract: 本发明的静电电容式变形传感器包括基板(119)和该基板上形成的二个交叉指型－对电极式电容器(209,209A)。该基板(119)在具有平面(或曲面)的弹性体的表面上,形成由厚度大致一致、介电常数随变形而变化的材料形成的电介质层膜(129)。另外,基板(119)在一个端部上固定了阻止变形的发生的部件(318),在另一端部固定了重物(329)。各交叉指型－对电极式电容器(209,209)在基板的表面上将成对电极组合成交叉指型而形成,该成对电极是将多个线状导电体作为平行的线状电极形成的。在静电电容式变形传感器中,在通过块(318)固定的基板(119)上形成一个交叉指型－对电极式电容器(209A)作为基准电容器,将其用于另一个交叉指型－对电极式电容器(209)的温度校正。为了检测另一方向的变形,线状电极的交叉指型中的指的方向大致互相垂直,或使形成交叉指型中的指的线状电极相对于平板的中心大致呈同心圆形状。另外,在弹性体为圆柱形的场合,将多个线状电极作为交叉指型中的指,该多个线状电极按照与中心轴方向大致倾斜45度且交错地嵌入的方式平行地呈螺旋状延伸,此外,通过形成与该线状电极的延伸方向成90度的另一对电极图形,可有效地检测反向的扭转量。静电电容式传感器通过将交叉指型－对电极式电容器作为振荡电路的元件而装入,可将随弹性体的变形产生的变形的值转换为静电电容的变化,还可容易地将其转换为频率变化,由于经转换的频率可精细地抽出,故可容易检测变形的细微变化。