公开(公告)号：CN104040015A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201380004743.X

申请日：2013-01-10

Applicant: 株式会社中山非晶质

Inventor： 仓桥隆郎 ,  松本宏 ,  竹原润治 ,  福留尚寿

IPC: C23C4/12 ,  B05B7/20

CPC classification number: C23C4/124 ,  B05B7/08 ,  B05B7/1486 ,  B05B7/1606 ,  B05B7/205 ,  C23C4/06 ,  C23C4/08 ,  C23C4/129

Abstract: 本发明提供一种在形成大面积的非晶形薄膜方面有利的大型的形成装置、及使用该装置而进行的非晶形薄膜形成方法。该非晶形薄膜的形成装置从喷射机向基材喷射含有材料粒子的火焰，通过火焰使该材料粒子熔融后，将该材料粒子及火焰从达到基材之前开始用冷却气体进行冷却，其中，以使含有材料粒子的所述火焰的横截面为横长的方式在喷射机的前面沿直线连续地设置材料粒子喷射口(11)及火焰喷射口(12)。而且，在夹着这些材料粒子喷射口(11)及火焰喷射口(12)的两侧的位置，沿所述直线连续地设置用于对火焰进行整流并使其冷却的惰性气体的喷射口(13)，并且，在夹着惰性气体的喷射口(13)的两侧的位置，沿所述直线连续地设置用于冷却火焰的液体雾的喷射口(14)。

公开(公告)号：CN104040015B

公开(公告)日：2016-10-19

申请号：CN201380004743.X

申请日：2013-01-10

Applicant: 株式会社中山非晶质

Inventor： 仓桥隆郎 ,  松本宏 ,  竹原润治 ,  福留尚寿

IPC: C23C4/129 ,  B05B7/20

CPC classification number: C23C4/124 ,  B05B7/08 ,  B05B7/1486 ,  B05B7/1606 ,  B05B7/205 ,  C23C4/06 ,  C23C4/08 ,  C23C4/129

Abstract: 本发明提供一种在形成大面积的非晶形薄膜方面有利的大型的形成装置、及使用该装置而进行的非晶形薄膜形成方法。该非晶形薄膜的形成装置从喷射机向基材喷射含有材料粒子的火焰，通过火焰使该材料粒子熔融后，将该材料粒子及火焰从达到基材之前开始用冷却气体进行冷却，其中，以使含有材料粒子的所述火焰的横截面为横长的方式在喷射机的前面沿直线连续地设置材料粒子喷射口(11)及火焰喷射口(12)。而且，在夹着这些材料粒子喷射口(11)及火焰喷射口(12)的两侧的位置，沿所述直线连续地设置用于对火焰进行整流并使其冷却的惰性气体的喷射口(13)，并且，在夹着惰性气体的喷射口(13)的两侧的位置，沿所述直线连续地设置用于冷却火焰的液体雾的喷射口(14)。