半导体装置的制造方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119096328A

    公开(公告)日:2024-12-06

    申请号:CN202380036860.8

    申请日:2023-10-06

    Abstract: 本发明涉及一种半导体装置的制造方法,其具备:树脂膜形成工序,在半导体晶圆上形成包含通过与水反应而低分子化的树脂的树脂膜;带有树脂膜片的半导体芯片制作工序,通过将形成有所述树脂膜的所述半导体晶圆用切割刀片进行切割而制作单片化的带有树脂膜片的半导体芯片;及树脂膜片去除工序,使所述带有树脂膜片的半导体芯片的树脂膜片中的所述树脂与水反应,并从所述带有树脂膜片的半导体芯片去除所述树脂膜片。

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