公开(公告)号：CN100555820C

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：CN200410094986.X

申请日：2004-11-19

Applicant: 株式会社千叶精密

Inventor： 追杉礼 ,  佐藤英明

IPC: H02K41/02

CPC classification number: H02P25/06 ,  H02K41/03 ,  H02K2201/18

Abstract: 提供一种平面电动机，不使用高价的直线导轨，将X轴以及Y轴用的空心式直线电动机配置在同一平面，同时具备X以及Y方向的高精度静电电容型位移传感器，由此，能够实现薄型化、低振动以及高精度定位。永久磁铁(2a～3b)被配置为与可动台的互相垂直的两个轴分别垂直、且相对可动台表面在垂直方向产生磁通。并且被分别配置为以夹住两个轴的各轴的方式位于对称位置。与各永久磁铁分别相向设置有线圈(5a～5b)。在可动台1安装有十字型公共电极(12)，公共电极(12)被配置为与由在固定电极台(14)表面上配置的两个电极构成的固定电极(13)相向。根据十字型公共电极(12)和固定电极(13)构成的电容器的静电电容变化，可以得到可动台(1)的移动位置。

公开(公告)号：CN1625028A

公开(公告)日：2005-06-08

申请号：CN200410094986.X

申请日：2004-11-19

Applicant: 株式会社千叶精密

Inventor： 追杉礼 ,  佐藤英明

IPC: H02K41/02

CPC classification number: H02P25/06 ,  H02K41/03 ,  H02K2201/18

Abstract: 提供一种平面电动机，不使用高价的直线导轨，将X轴以及Y轴用的空心式直线电动机配置在同一平面，同时具备X以及Y方向的高精度静电电容型位移传感器，由此，能够实现薄型化、低振动以及高精度定位。永久磁铁(2a～3b)被配置为与可动台的互相垂直的两个轴分别垂直、且相对可动台表面在垂直方向产生磁通。并且被分别配置为以夹住两个轴的各轴的方式位于对称位置。与各永久磁铁分别相向设置有线圈(5a～5b)。在可动台1安装有十字型公共电极(12)，公共电极(12)被配置为与由在固定电极台(14)表面上配置的两个电极构成的固定电极(13)相向。根据十字型公共电极(12)和固定电极(13)构成的电容器的静电电容变化，可以得到可动台(1)的移动位置。