公开(公告)号：CN114653520A

公开(公告)日：2022-06-24

申请号：CN202111321190.3

申请日：2021-11-09

Applicant: 株式会社埃纳科技

Inventor： 吉塚秀人 ,  山本章仁 ,  渡边翔

IPC: B05C1/02 ,  B05C11/02

Abstract: 本发明的目的在于提供一种涂敷装置，所述涂敷装置能够准确地进行控制使得涂敷在基板的包括端面的基板周向边缘部的膜形成液的上下面的涂敷宽度极其窄，并且能够确实地在基板周向边缘部形成均匀厚度的薄的涂膜；涂敷装置10是一边使基板2和涂敷单元20相对移动，一边在基板2的周向边缘部涂敷膜形成液的涂敷装置，涂敷单元20具备在基板2的至少周向边缘部端面涂敷膜形成液的涂敷部30以及将涂敷部30所涂敷的膜形成液在基板2的周向边缘部上下面上伸展为薄膜状的伸展部40。

公开(公告)号：CN119422443A

公开(公告)日：2025-02-11

申请号：CN202380041820.2

申请日：2023-09-28

Applicant: 株式会社埃纳科技

Inventor： 吉冢秀人 ,  山本章仁 ,  渡边翔

IPC: H05K3/28 ,  B05C1/02 ,  B05C9/12 ,  B05C9/14 ,  B05C11/00 ,  B05C11/02 ,  B05C11/10 ,  B05C13/02 ,  F26B15/12

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够容易地进行伸展部的交换、清洗等，维护性优异，且能够提高伸展部的伸展动作的稳定性的涂敷装置，所述涂敷装置是一边使基板和涂敷单元20相对移动一边在基板的周向边缘部涂敷膜形成液的涂敷装置10，涂敷单元20包括涂敷机构21和伸展机构30，涂敷机构21具备在基板的至少周向边缘部端面涂敷膜形成液的涂敷部22；伸展机构30具备将涂敷部22所涂敷的膜形成液在基板周向边缘部端面以及周向边缘部上下面伸展成薄膜状的伸展部31、对伸展部31在朝向基板周向边缘部端面以及周向边缘部上下面施力的施力机构34，不从伸展机构30拆卸施力机构34，就能够拆卸伸展部31而构成。