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发明公开
稀释气体混合单元及排气分析系统审中-实审

公开(公告)号：CN115917284A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202180038862.1

申请日：2021-07-01

Applicant: 株式会社堀场制作所

Inventor： 安田正明 , 泉博满 , 木村大 , 樋口昌宏

IPC: G01N1/22

Abstract: 本发明提供一种稀释气体混合单元以及排气分析系统，为了即使在降低稀释比使稀释气体流量降低了的情况下也降低混合气体的喷起对背景测量的影响，稀释气体混合单元(X)用于对用稀释气体对排气进行稀释而形成的混合气体进行分析的排气分析系统(100)，使稀释气体与排气混合，稀释气体混合单元(X)具备：稀释气体供给管(3H)，与导入排气的排气导入管(21)连接，并且向该排气导入管(21)供给稀释气体；稀释气体取样部(250)，设置在稀释气体供给管(3H)，采集稀释气体；以及倒流防止部件(5)，设置在稀释气体供给管(3H)中的比稀释气体取样部(250)更靠排气导入管(21)侧，用于防止混合气体在稀释气体供给管内倒流。

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