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发明公开
气体分析装置审中-实审

公开(公告)号：CN114764060A

公开(公告)日：2022-07-19

申请号：CN202111628845.1

申请日：2021-12-28

Applicant: 株式会社堀场制作所

Inventor： 米谷康弘 , 井之上哲志 , 生田卓司 , 阪仓诚司

IPC: G01N21/61 , G01N21/31

Abstract: 本发明提供气体分析装置，使分析装置紧凑且抑制保养作业量的增加。分析装置(100、200)包括光源(3)、第一气动检测器(53)、第二气动检测器(55)、第三气动检测器(57)和运算部(7)。光源(3)输出测定光(Lm)。第一气动检测器测定由第一成分气体(Gs1)吸收的测定光的强度。第二气动检测器测定由第二成分气体(Gs2)吸收的测定光的强度。第三气动检测器将由光吸收特性与第一成分气体和第二成分气体的光吸收特性至少部分重复的第三成分气体(Gs3)吸收的测定光的强度测定为第一通过测定光(Lm1)的强度。运算部(7)根据第一通过测定光的强度算出与第三成分气体(Gs3)相关的信息。

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