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公开(公告)号：CN103185771A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201210576137.2
申请日：2012-12-26
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N33/00 , C23C16/448 , C23C16/52
Abstract: 本发明提供一种样品液体气化系统、诊断系统及诊断方法，无需准备基准气体及流入基准气体的专用配管与时序，便可进行气体浓度计等是否异常的判断。在样品液体气化装置内的气体浓度计的诊断系统中，样品液体气化装置包括：样品液体槽；气体导出管，将通过样品液体槽气化而成的气体导出至外部；气体浓度计，设置于气体导出管，且测定气体浓度测定值；诊断系统包括：气体浓度计算部，根据由测定样品液体槽内的温度的温度计获得的温度及由测定样品液体槽内的压力的压力计获得的压力，算出样品液体槽内经气化的气体浓度计算值；状态判断部，将由气体浓度计算部算出的气体浓度计算值及由气体浓度计获得的气体浓度测定值作为参数，判断气体浓度计的异常。
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