-
公开(公告)号:CN104896230A
公开(公告)日:2015-09-09
申请号:CN201510244063.6
申请日:2010-11-29
Applicant: 伊原科技株式会社 , 株式会社堀场STEC
IPC: F16L23/10 , F16L23/032 , F16L23/18
CPC classification number: F16L23/10 , F16L23/18 , F16L23/032
Abstract: 本发明提供一种可容易地装卸的定位环以及使用该定位环的流体供给装置,所述定位环为沿着轴方向具有规定长度的管状的定位环(200),该定位环的一端部外嵌于一个管,另一端部外嵌于另一个管,使两个管(Y1a,Y1b)的中心轴保持大致吻合,在所述一端部以及另一端部,分别设置有贯通于形成该定位环(200)的壁体的厚度方向的缺口(Y202a,Y202b)。
-
公开(公告)号:CN102080747A
公开(公告)日:2011-06-01
申请号:CN201010549972.8
申请日:2010-11-16
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: F16L23/10 , F16K27/003 , Y10T137/8593
Abstract: 本发明提供一种流体装置、流体机器固定装置、轨道构件及基座构件。在由纵横的流体线构成的流体装置(100)中,能提高精简性并且确保组装容易性。在将多条纵流体线(L1)彼此平行配置多条、并且在邻接的纵流体线间使连接这些纵流体线的多条横流体线(L2、L3)并列的流体装置(100)中,所述横流体线(L2、L3)中的一条使用结合环(24)的紧固式的法兰接头(2′)来将配管(4′)之间加以连接,并且另一条利用接合管线(61、62)来将配管(4″)之间加以连接。
-
公开(公告)号:CN101506561B
公开(公告)日:2012-04-18
申请号:CN200780031157.9
申请日:2007-08-21
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: H01L21/02 , F16K27/00 , F16L55/00 , F17D1/04 , H01L21/205 , C23C16/455
CPC classification number: F16K27/003 , C23C16/455 , F15B13/0825 , F17D1/04 , H01L21/6719 , Y10T137/5283 , Y10T137/877 , Y10T137/87885
Abstract: 本发明的目的在于提供一种组合式气体分配盘装置,通过该组合式气体分配盘装置,可获得非常优异的反应性,并实现气体浓度的稳定化,并且可以维持现有的分配盘的原有形状。为此,本发明中,分配盘体(2)至少由形成主要流路(R2)的用于主要流路的块状体(32)与形成分支流路(R1)的用于分支流路的块状体(31)所构成,配置该用于分支流路的块状体(31),配以使其以该用于主要流路的块状体(32)为中心沿左右两侧彼此面对。
-
公开(公告)号:CN101506561A
公开(公告)日:2009-08-12
申请号:CN200780031157.9
申请日:2007-08-21
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: F16K27/00 , F16L55/00 , F17D1/04 , H01L21/205 , H01L21/02 , C23C16/455
CPC classification number: F16K27/003 , C23C16/455 , F15B13/0825 , F17D1/04 , H01L21/6719 , Y10T137/5283 , Y10T137/877 , Y10T137/87885
Abstract: 本发明的目的在于提供一种组合式气体分配盘装置,通过该组合式气体分配盘装置,可获得非常优异的反应性,并实现气体浓度的稳定化,并且可以维持现有的分配盘的原有形状。为此,本发明中,分配盘体(2)至少由形成主要流路(R2)的用于主要流路的块状体(32)与形成分支流路(R1)的用于分支流路的块状体(31)所构成,配置该用于分支流路的块状体(31),配以使其以该用于主要流路的块状体(32)为中心沿左右两侧彼此面对。
-
公开(公告)号:CN104847982A
公开(公告)日:2015-08-19
申请号:CN201510244066.X
申请日:2010-11-29
Applicant: 伊原科技株式会社 , 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供一种倾斜环、使用该倾斜环的流体供给装置以及结合装置,使得即便对于不具有倾斜面的现有的凸缘部而言,也可使用所述倾斜面型凸缘接头,所述倾斜环是在将相向的凸缘部(Z2a,Z2b)彼此予以压接时所使用的倾斜环,与所述凸缘部(Z2a,Z2b)分开制作,安装在所述凸缘部(Z2a,Z2b)的相向面的背侧,并且具有随着朝向所述凸缘部(Z2a,Z2b)而向外侧扩展的倾斜面(Z201)。
-
公开(公告)号:CN102080748B
公开(公告)日:2015-06-17
申请号:CN201010571886.7
申请日:2010-11-29
Applicant: 伊原科技株式会社 , 株式会社堀场STEC
Abstract: 一种可容易地将凸缘部予以结合的结合环。该结合环包括:一连串的单元构件(50a~50c),其相邻的单元构件彼此可旋转地被连结;以及用以连结两端的单元构件(50a、50c)的紧固件(52),将以沿着圆周方向延伸的方式设置的凹槽(51)外嵌于相向的凸缘部(2a、2b)的外周缘部,并且借由所述紧固件(52)来连结所述两端的单元构件(50a、50c)而成为环状的状态,借由将所述紧固件(52)予以紧固,对倾斜面(51a)进行按压,并利用此时所产生的轴方向的分力来将所述凸缘部(2a、2b)彼此予以压接结合,将卡止构件(60a、60b)设置在所述单元构件(50a~50c)中的至少一个单元构件上。
-
公开(公告)号:CN102080748A
公开(公告)日:2011-06-01
申请号:CN201010571886.7
申请日:2010-11-29
Applicant: 伊原科技株式会社 , 株式会社堀场STEC
Abstract: 一种可容易地将凸缘部予以结合的结合环。该结合环包括:一连串的单元构件(50a~50c),其相邻的单元构件彼此可旋转地被连结;以及用以连结两端的单元构件(50a、50c)的紧固件(52),将以沿着圆周方向延伸的方式设置的凹槽(51)外嵌于相向的凸缘部(2a、2b)的外周缘部,并且借由所述紧固件(52)来连结所述两端的单元构件(50a、50c)而成为环状的状态,借由将所述紧固件(52)予以紧固,对倾斜面(51a)进行按压,并利用此时所产生的轴方向的分力来将所述凸缘部(2a、2b)彼此予以压接结合,将卡止构件(60a、60b)设置在所述单元构件(50a~50c)中的至少一个单元构件上。
-
-
-
-
-
-