公开(公告)号：CN104303283B

公开(公告)日：2017-10-13

申请号：CN201380023509.1

申请日：2013-10-07

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 柳东奎 ,  李载贤 ,  李俊汉 ,  郑义汉

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67389 ,  Y10T137/0352 ,  Y10T137/0396

Abstract: 本发明提供半导体晶片制造系统中向STB提供不活泼气体的方法和利用该方法的半导体晶片制造系统，上述半导体晶片制造系统中向STB提供不活泼气体的方法包括如下步骤：检测前开式晶片传送盒装载到STB上并产生第一输入信号；以及根据所述第一输入信号使不活泼气体阀打开，向所述STB提供氮气。

公开(公告)号：CN104303283A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201380023509.1

申请日：2013-10-07

Applicant: 株式会社大福

Inventor： 柳东奎 ,  李载贤 ,  李俊汉 ,  郑义汉

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67389 ,  Y10T137/0352 ,  Y10T137/0396 ,  H01L21/67393 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67763 ,  H01L2221/683

Abstract: 本发明提供半导体晶片制造系统中向STB提供不活泼气体的方法和利用该方法的半导体晶片制造系统，上述半导体晶片制造系统中向STB提供不活泼气体的方法包括如下步骤：检测前开式晶片传送盒装载到STB上并产生第一输入信号；以及根据所述第一输入信号使不活泼气体阀打开，向所述STB提供氮气。