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公开(公告)号：CN101342992B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200810211027.X
申请日：2004-07-08
Applicant: 株式会社大福
Abstract: 提供一种板状体搬运装置，其可以抑制向板状体下表面供给的清洁空气的波动、减轻对板状体的负荷、抑制板状体的破损。本发明的板状体搬运装置具有送风式支承装置以及推进力施加装置，所述送风式支承装置向板状体搬运物的下表面供给清洁空气，并以非接触状态支承所述搬运物，所述推进力施加装置向由该送风式支承装置所支承的所述搬运物施加搬运方向上的推进力，其中，设置有接触式支承装置，该接触式支承装置将从由所述送风式支承装置所支承的规定高度下降的搬运物支承在比所述送风式支承装置的上表面更上方的位置。
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公开(公告)号：CN100497132C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200410063505.9
申请日：2004-07-08
Applicant: 株式会社大福
CPC classification number: B65G51/03 , B65G37/005 , B65G49/063 , B65G49/065 , B65G2249/02 , Y10S414/135 , Y10S414/136 , Y10S414/139
Abstract: 提供一种玻璃基板搬运装置，可以抑制向玻璃基板下表面供给的清洁空气的波动、减轻对玻璃基板的负荷、抑制玻璃基板的破损。送风式支承装置备有：除去尘埃的除尘过滤器，作为送风装置的电动送风扇，以及以允许通过了除尘过滤器的清洁空气通过、阻止异物向除尘过滤器一侧落下的方式进行遮蔽的遮蔽体，遮蔽体在与除尘过滤器之间形成储存清洁空气的腔室，设有推进力施加装置和箱体，推进力施加装置一边接触支承玻璃基板的两端部中的两个或一个、一边对玻璃基板施加搬运方向上的推进力，箱体支承该推进力施加装置，送风式支承装置构成为在箱体内部设有电动送风扇和所述除尘过滤器，支承所述玻璃基板的所述两端部之间的部分。
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公开(公告)号：CN101145504A
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200710148958.5
申请日：2007-09-12
Applicant: 株式会社大福
CPC classification number: B65G1/02 , B65G1/0435 , H01L21/67017 , H01L21/6734 , H01L21/67363 , H01L21/67393 , H01L21/67769
Abstract: 用于基板处理设施的基板处理方法，在保管在收纳架时以及由收纳容器搬运装置搬运时，将收纳容器的盖设为关闭状态，利用风扇过滤单元进行通风；并且在基板输入输出部中由基板搬运装置搬运基板时，将收纳容器的盖设为打开状态，利用风扇过滤单元进行通风。
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公开(公告)号：CN1623872A
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN200410098034.5
申请日：2004-12-03
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G49/06
CPC classification number: H01L21/67721 , B65G49/067 , B65G49/068 , B65G2249/02 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , H01L21/67769 , H01L21/67781
Abstract: 一种玻璃基板用输送设备，在输送玻璃基板时能够可靠地进行玻璃基板的存放。设置有在使得玻璃基板(1)从多个对玻璃基板(1)进行处理的处理装置(3)中经过的状态下输送该玻璃基板(1)的输送装置(2)，还设置有在输送装置(2)与处理装置(3)之间进行玻璃基板(1)的移载的移载装置(4)、以及在输送装置(2)与处理装置(3)之间进行玻璃基板(1)的存放的存放架(5)，移载装置(4)以能够在输送装置(2)与存放架(5)之间以及处理装置(3)与存放架(5)之间进行玻璃基板(1)的移载的方式构成，移载装置(4)与存放架(5)与多个处理装置(3)的每一个对应地设置有多个。
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公开(公告)号：CN1541917A
公开(公告)日：2004-11-03
申请号：CN200410032968.9
申请日：2004-04-14
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G49/06
CPC classification number: H01L21/67784 , B65G49/063 , B65G49/065 , B65G49/067 , B65G2249/02 , B65G2249/045
Abstract: 属于具有向被输送的板状体(2)的下面供给洁净空气、对板状体以非接触状态进行支持的送风式支持机构(12)、(13)的板状体输送装置，送风式支持机构(12)、(13)，具有去除尘埃的除尘过滤器(12)、以及、经该除尘过滤器(12)向板状体(2)的下面供给洁净空气的送风风扇(13)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101145504B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200710148958.5
申请日：2007-09-12
Applicant: 株式会社大福
CPC classification number: B65G1/02 , B65G1/0435 , H01L21/67017 , H01L21/6734 , H01L21/67363 , H01L21/67393 , H01L21/67769
Abstract: 用于基板处理设施的基板处理方法，在保管在收纳架时以及由收纳容器搬运装置搬运时，将收纳容器的盖设为关闭状态，利用风扇过滤单元进行通风；并且在基板输入输出部中由基板搬运装置搬运基板时，将收纳容器的盖设为打开状态，利用风扇过滤单元进行通风。
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公开(公告)号：CN100482555C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200410032968.9
申请日：2004-04-14
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G49/06
CPC classification number: H01L21/67784 , B65G49/063 , B65G49/065 , B65G49/067 , B65G2249/02 , B65G2249/045
Abstract: 属于具有向被输送的板状体(2)的下面供给洁净空气、对板状体以非接触状态进行支持的送风式支持机构(12)、(13)的板状体输送装置，送风式支持机构(12)、(13)，具有去除尘埃的除尘过滤器(12)、以及、经该除尘过滤器(12)向板状体(2)的下面供给洁净空气的送风风扇(13)。
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公开(公告)号：CN100556775C
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200410098034.5
申请日：2004-12-03
Applicant: 株式会社大福
CPC classification number: H01L21/67721 , B65G49/067 , B65G49/068 , B65G2249/02 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , H01L21/67769 , H01L21/67781
Abstract: 一种玻璃基板用输送设备，在输送玻璃基板时能够可靠地进行玻璃基板的存放。设置有在使得玻璃基板(1)从多个对玻璃基板(1)进行处理的处理装置(3)中经过的状态下输送该玻璃基板(1)的输送装置(2)，还设置有在输送装置(2)与处理装置(3)之间进行玻璃基板(1)的移载的移载装置(4)、以及在输送装置(2)与处理装置(3)之间进行玻璃基板(1)的存放的存放架(5)，移载装置(4)以能够在输送装置(2)与存放架(5)之间以及处理装置(3)与存放架(5)之间进行玻璃基板(1)的移载的方式构成，移载装置(4)与存放架(5)与多个处理装置(3)的每一个对应地设置有多个。
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公开(公告)号：CN101342992A
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200810211027.X
申请日：2004-07-08
Applicant: 株式会社大福
Abstract: 提供一种板状体搬运装置，其可以抑制向板状体下表面供给的清洁空气的波动、减轻对板状体的负荷、抑制板状体的破损。本发明的板状体搬运装置具有送风式支承装置以及推进力施加装置，所述送风式支承装置向板状体搬运物的下表面供给清洁空气，并以非接触状态支承所述搬运物，所述推进力施加装置向由该送风式支承装置所支承的所述搬运物施加搬运方向上的推进力，其中，设置有接触式支承装置，该接触式支承装置将从由所述送风式支承装置所支承的规定高度下降的搬运物支承在比所述送风式支承装置的上表面更上方的位置。
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公开(公告)号：CN1576201A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410063505.9
申请日：2004-07-08
Applicant: 株式会社大福
IPC: B65G49/06
CPC classification number: B65G51/03 , B65G37/005 , B65G49/063 , B65G49/065 , B65G2249/02 , Y10S414/135 , Y10S414/136 , Y10S414/139
Abstract: 提供一种板状体搬运装置，其可以抑制向板状体下表面供给的清洁空气的波动、减轻对板状体的负荷、抑制板状体的破损。送风式支承装置(3)的构成为，备有：用于除去尘埃的除尘过滤器(12)，通过该除尘过滤器(12)向板状体(2)的下表面供给清洁空气的送风装置(13)以及以使通过了除尘过滤器(12)的清洁空气流动且用于阻止异物向除尘过滤器(12)一侧落下的方式进行遮蔽的遮蔽体(6)，遮蔽体(6)设置成与除尘过滤器(12)之间形成储存清洁空气的腔室(C)。
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