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公开(公告)号：CN103009394A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210355817.1
申请日：2012-09-21
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 本发明提供防止高温环境下的劣化的机器人手以及机器人。机器人手和机器人构成为：具备由纤维强化塑料形成的叉，并且所述叉具有通过在外表面被覆聚酰亚胺而形成的被覆层。另外，被覆层例如通过使包含聚酰亚胺的膜材料即聚酰亚胺膜以呈螺旋状的方式卷绕而形成，所述被覆层也可以仅形成在叉的外周面的一部分。
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公开(公告)号：CN1321447C
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：CN02816173.4
申请日：2002-08-15
Applicant: 株式会社安川电机
CPC classification number: H01L21/67259 , B25J15/0023 , B25J19/0008 , B25J19/0091 , B25J19/063 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供了一种机械手，其在机械手与外围设备等碰撞时通过检测碰撞而停止机器人，其还能吸收碰撞的冲击从而减少因为碰撞而引起的损坏。该机械手(2)包括安装在机械臂(1)前端上的基座(21)，和一对平行地安装于所述基座(21)的支撑构件(22)，用于在所述支撑构件(22)上放置和运送大型基板(3)。填充有流体的可膨胀/可收缩的中空构件(41)安装于所述支撑构件的前端(22)。还包括用于检测填充在所述中空构件中的流体的压力的传感器，所述传感器安装在所述基座中，以及所述中空构件和所述传感器通过埋设在所述支撑构件中的管线连接。
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公开(公告)号：CN102528803A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110403061.9
申请日：2011-12-07
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 本发明提供一种能够检测基板的位置偏离的基板搬运用手、基板搬运用机器人系统、基板位置偏离检测方法。另外，提供基板位置修正方法。基板搬运用机器人系统具备：基板搬运用机器人，具有设有接触基板下面的接触部及用于检测接触于接触部的基板的重心位置的多个传感器的基板搬运用手：及第1控制装置，具有差分运算部与第1判断部，差分运算部分别运算基板被支撑在基板搬运用手上的成为基准的位置时的各传感器的检测值即基准值与现在的各传感器的检测值的差分，第1判断部根据各差分而判断基板的位置偏离方向。
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公开(公告)号：CN1543673A
公开(公告)日：2004-11-03
申请号：CN02816173.4
申请日：2002-08-15
Applicant: 株式会社安川电机
CPC classification number: H01L21/67259 , B25J15/0023 , B25J19/0008 , B25J19/0091 , B25J19/063 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供了一种机械手，其在机械手与外围设备等碰撞时通过检测碰撞而停止机器人，其还能吸收碰撞的冲击从而减少因为碰撞而引起的损坏。该机械手(2)包括安装在机械臂(1)前端上的基座(21)，和一对平行地安装于所述基座(21)的支撑构件(22)，用于在所述支撑构件(22)上放置和运送大型基板(3)。填充有流体的可膨胀/可收缩的中空构件(41)安装于所述支撑构件的前端(22)。
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公开(公告)号：CN202805205U
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201220487667.5
申请日：2012-09-21
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J15/08 , H01L21/677
Abstract: 本实用新型提供防止高温环境下的劣化的机器人手以及机器人。机器人手和机器人构成为：具备由纤维强化塑料形成的叉，并且所述叉具有通过在外表面被覆聚酰亚胺而形成的被覆层。另外，被覆层例如通过使包含聚酰亚胺的膜材料即聚酰亚胺膜以呈螺旋状的方式卷绕而形成，所述被覆层也可以仅形成在叉的外周面的一部分。
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