公开(公告)号：CN103029988A

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201210363945.0

申请日：2012-09-26

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 原田修 ,  钱景华

IPC: B65G49/06 ,  B25J15/06

Abstract: 本发明提供机械手和基板搬送装置，能够高效地对基板进行除电。为了解决上述课题，构成机械手和具备所述机械手的基板搬送装置，所述机械手具备多个叉、作为产生部的静电除去装置和作为喷出部的喷出孔。上述多个叉用于载置基板。上述静电除去装置设于上述叉的内部，用于产生离子化的气体。上述喷出孔用于将由上述静电除去装置产生的离子化的气体喷出。

公开(公告)号：CN202807879U

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN201220496568.3

申请日：2012-09-26

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 原田修 ,  钱景华

IPC: B65G49/06 ,  B25J15/06

Abstract: 本实用新型提供机械手和基板搬送装置，能够高效地对基板进行除电。为了解决上述课题，构成机械手和具备所述机械手的基板搬送装置，所述机械手具备多个叉、作为产生部的静电除去装置和作为喷出部的喷出孔。上述多个叉用于载置基板。上述静电除去装置设于上述叉的内部，用于产生离子化的气体。上述喷出孔用于将由上述静电除去装置产生的离子化的气体喷出。