基板温度控制装置用载置台

    公开(公告)号:CN101911248A

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN200880124293.7

    申请日:2008-12-15

    CPC classification number: H05B3/143 H01L21/67248 H01L21/68735

    Abstract: 一种基板温度控制装置用载置台,相比以往能够减少对基板进行加热或冷却时产生的过渡性温度分布的扩展。该基板温度控制装置用载置台是在控制基板温度的基板温度控制装置中用于将具有规定直径的基板载置于规定位置的载置台,包括:板片,其在与基板对置的第一面中包括与基板的端缘对应的位置的区域形成有低于中心部的台阶部;调温部,其配置在板片的与第一面相反侧的第二面。

    基板温度控制装置用载置台

    公开(公告)号:CN101911248B

    公开(公告)日:2012-06-27

    申请号:CN200880124293.7

    申请日:2008-12-15

    CPC classification number: H05B3/143 H01L21/67248 H01L21/68735

    Abstract: 一种基板温度控制装置用载置台,相比以往能够减少对基板进行加热或冷却时产生的过渡性温度分布的扩展。该基板温度控制装置用载置台是在控制基板温度的基板温度控制装置中用于将具有规定直径的基板载置于规定位置的载置台,包括:板片,其在与基板对置的第一面中包括与基板的端缘对应的位置的区域形成有低于中心部的台阶部;调温部,其配置在板片的与第一面相反侧的第二面。

    作业机械以及作业机械的作业量计量方法

    公开(公告)号:CN104736772A

    公开(公告)日:2015-06-24

    申请号:CN201380055611.X

    申请日:2013-11-11

    CPC classification number: E02F9/267 E02F3/435 E02F9/2054 E02F9/264

    Abstract: 本发明提供一种作业机械,其为了容易且高精度地对挖掘装载作业等一系列的挖掘装载机构部的操作的次数进行计量,具备:时间积分部(31b),其计算与操作杆(41、42)的操作对应而输出的物理量的时间积分值;判定部(31c),其使所述时间积分值与伴随着操作杆(41、42)的操作的挖掘装载机构部的规定工作角相对应,且在所述时间积分值成为规定积分值以上的情况下,判定为进行了操作杆(41、42)的操作;计数部(31d),其在判定出的挖掘装载机构部的各操作以规定的顺序进行的情况下,将该以规定的顺序进行的一系列的挖掘装载机构部的操作设为一次,对该一系列的挖掘装载作业的次数进行计数;以及模式检测部(31e),其在能够进行与一系列的挖掘装载作业相关的挖掘装载机构部的操作的状态下,对与该一系列的挖掘装载机构部的操作无关联的特定动作状态进行检测,在特定动作状态的情况下,对所述一系列的挖掘装载作业的次数的计数处理进行复位。

    工程机械的控制系统、工程机械及工程机械的控制方法

    公开(公告)号:CN113316671B

    公开(公告)日:2023-12-12

    申请号:CN201980089142.0

    申请日:2019-12-19

    Abstract: 本发明的工程机械的控制系统包括:目标值生成部,其生成作业机的控制量的目标值;预测模型存储部,其存储作业机的预测模型;重量数据获取部,其获取铲斗的重量数据;预测模型更新部,其根据重量数据,更新预测模型;预测部,其根据目标值和更新后的预测模型,计算作业机的控制量的预测值,并根据预测值,计算用于控制作业机的驱动量;以及指令部,其根据驱动量,输出用于控制作业机的控制指令。

    工程机械的控制系统、工程机械及工程机械的控制方法

    公开(公告)号:CN113316671A

    公开(公告)日:2021-08-27

    申请号:CN201980089142.0

    申请日:2019-12-19

    Abstract: 本发明的工程机械的控制系统包括:目标值生成部,其生成作业机的控制量的目标值;预测模型存储部,其存储作业机的预测模型;重量数据获取部,其获取铲斗的重量数据;预测模型更新部,其根据重量数据,更新预测模型;预测部,其根据目标值和预测模型,计算作业机的控制量的预测值,并根据预测值,计算用于控制作业机的驱动量;以及指令部,其根据驱动量,输出用于控制作业机的控制指令。

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