公开(公告)号：CN111656487B

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN201980010298.5

申请日：2019-04-11

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 三石创 ,  福田稔 ,  菅谷功

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明提供一种对层叠的两个基板进行位置对准的位置对准方法，包含：测量从配置于两个基板中的至少一个基板的多个标记中选择出的标记的位置的阶段；以及基于测量出的标记的位置，对两个基板进行位置对准的阶段，被测量的标记基于与至少一个基板的形变相关的信息来选择。标记也可以是配置于至少一个基板的形变量小于阈值的区域的标记。标记也可以是配置于在至少一个基板上产生的形变的再现性大于阈值的区域的标记。

公开(公告)号：CN118679551A

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202380021229.0

申请日：2023-02-02

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 牛岛干雄 ,  三石创 ,  前原义弘 ,  千叶智弘

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683

Abstract: 在本发明的第一方式中，提供一种基板修正装置，具备：获取部，获取基于在外部测量出的基板上的多个对准标记的位置信息的第一信息；工作台，保持基板；修正部，修正保持于工作台的基板与同基板接合的其它基板之间的位置偏移；以及控制部，基于第一信息控制修正部。

公开(公告)号：CN111133556B

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN201880062261.2

申请日：2018-10-09

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 菅谷功 ,  釜下敦 ,  三石创 ,  福田稔

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/68

Abstract: 将两个基板接合来制造层叠基板的制造方法包括：获取与多个基板的结晶结构相关的信息的获取阶段；以及基于与结晶结构相关的信息，决定相互接合的两个基板的组合的决定阶段。在上述制造方法中，也可以与结晶结构相关的信息包括接合面的面方位以及与接合面平行的方向的结晶方位中的至少一方。另外，在上述制造方法中，也可以在决定阶段中，决定两个基板的接合后的位置偏移量在预先决定的阈值以下的组合。

公开(公告)号：CN111656487A

公开(公告)日：2020-09-11

申请号：CN201980010298.5

申请日：2019-04-11

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 三石创 ,  福田稔 ,  菅谷功

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明提供一种对层叠的两个基板进行位置对准的位置对准方法，包含：测量从配置于两个基板中的至少一个基板的多个标记中选择出的标记的位置的阶段；以及基于测量出的标记的位置，对两个基板进行位置对准的阶段，被测量的标记基于与至少一个基板的形变相关的信息来选择。标记也可以是配置于至少一个基板的形变量小于阈值的区域的标记。标记也可以是配置于在至少一个基板上产生的形变的再现性大于阈值的区域的标记。

公开(公告)号：CN115244650A

公开(公告)日：2022-10-25

申请号：CN202180019351.5

申请日：2021-03-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 前田荣裕 ,  下田敏正 ,  三石创 ,  森博史 ,  高畑贵匠 ,  吉桥正博 ,  塩见隆 ,  前原义弘

IPC: H01L21/02

Abstract: 控制对利用基板贴合装置相互贴合的两个基板间供给的气体的供给条件的控制装置基于针对基板、在贴合基板前所贴合的其他基板以及基板贴合装置中的至少一个测量出的测量结果来控制供给条件。

公开(公告)号：CN113795907A

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN202080033276.3

申请日：2020-05-07

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 三石创 ,  菅谷功 ,  釜下敦 ,  冈田政志 ,  福田稔 ,  前田荣裕

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/683 ,  H01L21/673

Abstract: 基板保持架具备：中央支承部，其支承基板的中央部；以及外周支承部，其配置在中央支承部的外侧，支承中央部的外侧的外周部，外周支承部将外周部支承为：外周部的至少一部分区域朝向基板保持架以比中央部大的曲率弯曲。

公开(公告)号：CN112424908A

公开(公告)日：2021-02-26

申请号：CN201980045550.6

申请日：2019-07-03

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 前原义弘 ,  釜下敦 ,  三石创 ,  福田稔

IPC: H01L21/02 ,  B23K20/00 ,  H01L21/683 ,  H01L21/822 ,  H01L25/16 ,  H01L27/00 ,  H01L27/04 ,  H01L27/146

Abstract: 本发明的接合方法包括：第一接合阶段，通过解除第一基板的保持接合第一基板和第二基板从而形成第一层叠体；以及第二接合阶段，通过将已接合的第一基板以及第二基板中的被薄化的一方的基板和第三基板接合从而形成第二层叠体，在第一基板被薄化的情况下，在第二接合阶段解除第三基板的保持，在第二基板被薄化的情况下，在第二接合阶段解除第一层叠体的保持。

公开(公告)号：CN112955999B

公开(公告)日：2025-04-18

申请号：CN201980070212.8

申请日：2019-09-24

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 三石创 ,  菅谷功 ,  角田真生 ,  铃木一弘 ,  塩见隆 ,  福田稔

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明涉及基板贴合装置、计算装置、基板贴合方法和计算方法。基板贴合装置具备：第一保持部，其保持第一基板；以及第二保持部，其保持第二基板，在第一基板的一部分与第二基板的一部分之间形成初始贴合区域，并通过从第二保持部释放形成了初始贴合区域的第二基板，来将第一基板和第二基板贴合，基于与第二基板的形变相关的信息来设定初始贴合区域。

公开(公告)号：CN118317531A

公开(公告)日：2024-07-09

申请号：CN202410385535.9

申请日：2018-10-22

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 三石创 ,  菅谷功

IPC: H05K3/46

Abstract: 本发明涉及层叠基板的制造方法以及制造装置，制造方法包含：对多个基板中的至少一个进行加工的加工步骤、层叠多个基板来制造层叠基板的层叠步骤、以及基于多个层叠基板各自的多个基板间的位置偏移量来决定修正量的决定步骤，加工步骤以及层叠步骤中的至少一个步骤包含利用修正量来修正在决定步骤之后进行层叠的多个基板中的至少一个的修正步骤。

公开(公告)号：CN113795907B

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202080033276.3

申请日：2020-05-07

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 三石创 ,  菅谷功 ,  釜下敦 ,  冈田政志 ,  福田稔 ,  前田荣裕

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/683 ,  H01L21/673

Abstract: 基板保持架具备：中央支承部，其支承基板的中央部；以及外周支承部，其配置在中央支承部的外侧，支承中央部的外侧的外周部，外周支承部将外周部支承为：外周部的至少一部分区域朝向基板保持架以比中央部大的曲率弯曲。