基板对位装置、基板贴合装置、基板对位方法、层叠半导体装置的制造方法、以及基板贴合方法

    公开(公告)号:CN104756227B

    公开(公告)日:2019-01-08

    申请号:CN201380056169.2

    申请日:2013-10-25

    Abstract: 即便以较高的精度使基板彼此进行对位,也会因对位后的主要因素而基板彼此产生位置偏移。本发明提供一种基板贴合装置,其使第一基板与第二基板相互接合,所述基板贴合装置具备:对位部,其通过对位装置使上述第一基板与上述第二基板相互对位;搬运部,其将对位后的上述第一基板以及上述第二基板从对位部搬出;贴合部,其使由上述搬运部搬运来的上述第一基板与上述第二基板相互贴合;以及判断部,在上述对位部的对位之后、且被上述搬运部搬出之前,该判断部对上述第一基板与上述第二基板的位置偏移的有无进行判断。

    拍摄元件及拍摄装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107431080B

    公开(公告)日:2020-07-07

    申请号:CN201680019656.5

    申请日:2016-03-29

    Abstract: 抑制面积扩大了的拍摄元件的信号的延迟或衰减。一种拍摄元件,其具备:第一受光部,其接受被拍摄对象反射之后的调制光信号,并输出第一电信号,所述调制光信号包含以预先确定的调制频率进行了强度调制的调制成分;第二受光部,其接受与调制光信号同步地进行了强度调制的参照光信号,并输出第二电信号;以及检测部,其设置于层叠于包含第一受光部在内的基板的基板上,以第二电信号为参照,从第一电信号中检测与调制成分对应的第三电信号。

    拍摄元件及拍摄装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107431080A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201680019656.5

    申请日:2016-03-29

    Abstract: 抑制面积扩大了的拍摄元件的信号的延迟或衰减。一种拍摄元件,其具备:第一受光部,其接受被拍摄对象反射之后的调制光信号,并输出第一电信号,所述调制光信号包含以预先确定的调制频率进行了强度调制的调制成分;第二受光部,其接受与调制光信号同步地进行了强度调制的参照光信号,并输出第二电信号;以及检测部,其设置于层叠于包含第一受光部在内的基板的基板上,以第二电信号为参照,从第一电信号中检测与调制成分对应的第三电信号。

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