-
公开(公告)号：CN108139688A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680057221.X
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 本发明提供一种液晶曝光装置，经由投影光学系统(16)以照明光使基板(P)曝光，其具备：保持基板(P)的基板保持具(34)、包含读头单元(60)与标尺(52、56)并根据读头单元(60)的输出取得基板保持具(34)的位置信息的基板编码器系统(50)、以及使基板保持具(34)上的读头单元(60)与标尺(52)中的一方相对于另一方相对移动的驱动部。
-
公开(公告)号：CN111650818B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202010477970.6
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种曝光装置、平面显示器的制造方法、组件制造方法、及曝光方法，其中，液晶曝光装置经由投影光学系统(16)以照明光使基板(P)曝光，其具备：保持基板(P)的基板保持具(34)、包含读头单元(60)与标尺(52、56)并根据读头单元(60)的输出取得基板保持具(34)的位置信息的基板编码器系统(50)、以及使基板保持具(34)上的读头单元(60)与标尺(52)中的一方相对于另一方相对移动的驱动部。
-
公开(公告)号：CN108139685A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680059115.5
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 原笃史
Abstract: 本发明提供一种液晶曝光装置，液晶曝光装置(10)具备配置在投影光学系统(16)下方用以保持基板(P)的基板保持具(24)、沿XY平面使基板保持具移动的第1驱动部、测量基板保持具的位置信息的读头(68S)、支承读头并能在XY平面内移动的读头载台(64)、以及在X轴、Y轴方向移动读头载台的第2驱动部，该第2驱动部，在以第1驱动部使基板保持具往X轴或Y轴方向移动时，使读头载台往X轴或Y轴方向移动。
-
公开(公告)号：CN116830035A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202280014132.2
申请日：2022-04-22
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F1/44
Abstract: 本发明涉及相移掩模(100、200)，其具有基材(10)、第1半透过层(20)和第2半透过层(20)、以及遮光层(30)，在上述基材的表面形成有测量标记，该测量标记具有下述区域沿着与上述表面平行的排列方向相邻地设置的图案：配置有第1半透过层的第1区域(A1)；上述基材表面露出的第2区域(B1)；配置有上述遮光层的第3区域(C)；配置有第2半透过层的第4区域(A2)；以及上述基材表面露出的第5区域(B2)。
-
公开(公告)号：CN112415863B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202011313416.0
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 原笃史
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种液晶曝光装置，液晶曝光装置(10)具备配置在投影光学系统(16)下方用以保持基板(P)的基板保持具(24)、沿XY平面使基板保持具移动的第1驱动部、测量基板保持具的位置信息的读头(68S)、支承读头并能在XY平面内移动的读头载台(64)、以及在X轴、Y轴方向移动读头载台的第2驱动部，该第2驱动部，在以第1驱动部使基板保持具往X轴或Y轴方向移动时，使读头载台往X轴或Y轴方向移动。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108139685B
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201680059115.5
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 原笃史
Abstract: 本发明提供一种液晶曝光装置，液晶曝光装置(10)具备配置在投影光学系统(16)下方用以保持基板(P)的基板保持具(24)、沿XY平面使基板保持具移动的第1驱动部、测量基板保持具的位置信息的读头(68S)、支承读头并能在XY平面内移动的读头载台(64)、以及在X轴、Y轴方向移动读头载台的第2驱动部，该第2驱动部，在以第1驱动部使基板保持具往X轴或Y轴方向移动时，使读头载台往X轴或Y轴方向移动。
-
公开(公告)号：CN110709793A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201880035547.1
申请日：2018-03-30
Applicant: 株式会社尼康
Abstract: 基板平台装置(20)包括：微动平台(24)；X粗动平台(34)；Y粗动平台(32)；致动器单元(70X1)，包括将使X粗动平台相对于Y粗动平台相对移动的推力设为第一推力而赋予至微动平台的音圈马达(72X)、及将所述推力设为大于第一推力的第二推力而赋予至微动平台的空气致动器(74X)，致动器单元使微动平台及X粗动平台相对于Y粗动平台相对移动；及控制系统，控制音圈马达及空气致动器，基于使微动平台及X粗动平台相对于Y粗动平台相对移动时所要求的推力，控制音圈马达及空气致动器中的至少任一个致动器。
-
公开(公告)号：CN107015440A
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201611143637.1
申请日：2013-08-05
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/707
Abstract: 本发明提供移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法和器件制造方法。曝光方法包含如下步骤：使具有掩模图案的掩模(M)的上表面与掩模导流构件(40)的下表面相对；使掩模(M)以非接触方式悬垂支承在掩模导流构件(40)上；使掩模保持装置(60)保持悬垂支承在掩模导流构件(40)上的掩模(M)；使用掩模保持装置(60)，使掩模(M)在扫描方向上相对于曝光用照明光移动，并且，相对于曝光用照明光而在扫描方向上驱动作为曝光对象物体的基板，将掩模图案转印到基板上。
-
公开(公告)号：CN104662481A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201380049848.7
申请日：2013-08-05
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/677
CPC classification number: G03F7/707
Abstract: 曝光方法包含如下步骤：使具有掩模图案的掩模(M)的上表面与掩模导流构件(40)的下表面相对；使掩模(M)以非接触方式悬垂支承在掩模导流构件(40)上；使掩模保持装置(60)保持悬垂支承在掩模导流构件(40)上的掩模(M)；使用掩模保持装置(60)，使掩模(M)在扫描方向上相对于曝光用照明光移动，并且，相对于曝光用照明光而在扫描方向上驱动作为曝光对象物体的基板，将掩模图案转印到基板上。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
12
records
(took 0.026 seconds)
