公开(公告)号：CN101365649A

公开(公告)日：2009-02-11

申请号：CN200780001831.9

申请日：2007-03-13

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 瀧优介 ,  筱原清晃 ,  菊池牧子

IPC: C01B31/02 ,  B01J21/18 ,  B01J23/85 ,  B01J35/02 ,  B82B1/00 ,  B82B3/00 ,  H01J1/30 ,  H01J31/12

CPC classification number: B01J35/023 ,  B01J21/185 ,  B01J23/85 ,  B01J23/888 ,  B01J35/004 ,  B01J35/006 ,  B01J37/18 ,  B01J37/34 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/162 ,  C01B2202/02 ,  C01B2202/04 ,  C01B2202/08 ,  H01J9/025 ,  H01J2201/30469 ,  H01J2329/00 ,  Y10T428/24612

Abstract: 本发明提供了一种碳纳米管集合体的制造方法，对基板上的碳纳米管的生长密度加以控制，该方法包含下述步骤：准备催化剂粒子分散膜形成基板的步骤，所述催化剂粒子分散膜形成基板具备将具有既定粒径的金属催化剂粒子分散在障碍粒子中得到的催化剂粒子分散膜；热CVD步骤，以所述金属催化剂粒子作为基点，通过有机化合物蒸气的热分解来使碳纳米管生长。