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公开(公告)号：CN113287000B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN201980088598.5
申请日：2019-01-29
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01N21/88
Abstract: 位移测量装置(10)具备：激光光源(11)，其向被测量物体(S)的表面的测定区域(R)照射激光；聚焦光学系统(分束器(151)、第一反射镜(1521)以及聚光透镜(155))，其将测定区域(R)设为前方焦点，将规定的成像面(检测面(1561))设为后方焦点；非聚焦光学系统(分束器(151)、扩散器(153)、第二反射镜(1522)以及聚光透镜(155))，其使来自对于聚焦光学系统而言与所述成像面的各点对应的测定区域(R)的对应点的周边范围的光向所述成像面的该点入射；以及光检测器(图像传感器(156))，其针对所述成像面上的每个点检测光的强度。由此，与测定区域(R)内的多个点中的各个点对应地，在该点反射的主反射光与在该点的周边范围反射的参照光向成像面内的多个点中的各个点入射，在成像面内的这些多个点处主反射光与参照光分别发生干涉，由此得到干涉图案。
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公开(公告)号：CN117280206A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202280032443.1
申请日：2022-03-25
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01N29/24
Abstract: 本缺陷检查装置(100)包括：激振部(1)；照射部(激光照明2)，照射激光；以及测定部(3)，使由检查对象物(8)反射的激光的相位发生变化，使相位变化前后的激光彼此干涉，并且对干涉光进行测定。而且，测定部(3)获取表示从沿着第一光路(21)的方向观察到的检查对象物(8)的振动状态的干涉图像(71)，并且获取表示从沿着自检查对象物(8)朝向与第一光路(21)不同的方向反射的第二光路(22)的方向观察到的检查对象物(8)的振动状态的干涉图像(72)。
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公开(公告)号：CN116804634A
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202211544130.2
申请日：2022-12-02
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明提供一种缺陷检测装置及缺陷检测方法。缺陷检测装置(10)包括：激振部(11)，对被检查物体(S)赋予振动数可变的振动；振动状态测定部(散斑剪切干涉仪(15)、位移算出部(163)，利用光学部件对赋予了所述振动的被检查物体(S)的表面的振动状态进行测定，并基于所述测定的结果针对所述表面的每个位置求出表示所述振动状态的数值；判定指标值决定部(164)，基于表示所述每个位置的振动状态的数值，通过傅立叶变换求出表示每个波数的振动的强度的数值即判定指标值；以及波数/波长决定部(165)，基于所述每个波数的判定指标值，决定通过所述振动的赋予而所述被检查物体受到激发而产生的弹性波所具有的波数或波长。
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公开(公告)号：CN114981652A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202080093243.8
申请日：2020-10-09
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 所述缺陷检查装置(100)构成为：通过对在弹性波的相互不同的至少三个相位的各个相位下由摄像部拍摄到的至少三个摄像图像(A)的像素值与不同于摄像图像(A)的基准图像(Aave)的像素值的差分值或差分值的绝对值(Iα)进行近似，获取与摄像图像(A)的像素值的变化量相对应的缺陷检查用的近似值。
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公开(公告)号：CN113287000A
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN201980088598.5
申请日：2019-01-29
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01N21/88
Abstract: 位移测量装置(10)具备：激光光源(11)，其向被测量物体(S)的表面的测定区域(R)照射激光；聚焦光学系统(分束器(151)、第一反射镜(1521)以及聚光透镜(155))，其将测定区域(R)设为前方焦点，将规定的成像面(检测面(1561))设为后方焦点；非聚焦光学系统(分束器(151)、扩散器(153)、第二反射镜(1522)以及聚光透镜(155))，其使来自对于聚焦光学系统而言与所述成像面的各点对应的测定区域(R)的对应点的周边范围的光向所述成像面的该点入射；以及光检测器(图像传感器(156))，其针对所述成像面上的每个点检测光的强度。由此，与测定区域(R)内的多个点中的各个点对应地，在该点反射的主反射光与在该点的周边范围反射的参照光向成像面内的多个点中的各个点入射，在成像面内的这些多个点处主反射光与参照光分别发生干涉，由此得到干涉图案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109030624A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810601368.1
申请日：2018-06-12
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明提供能够容易地测量缺陷的深度的缺陷检测方法，其包括：位移统括测定工序，一边在被检查物体的整个检查区域内激发第1弹性波，一边对该检查区域内的该被检查物体的整个表面进行频闪照明，并控制弹性波的相位和频闪照明的时刻，由此，在该弹性波的互不相同的至少3个相位下统括测定检查区域的各点的前后方向的位移；缺陷位置确定工序，根据该至少3个相位下的检查区域的各点的前后方向的位移来确定缺陷在该检查区域的表面上的位置即表面位置；和深度方向信息获取工序，从抵接在包含用缺陷位置确定工序确定的表面位置的所述表面的限定区域内的探头朝表面位置的内部投射第2弹性波，根据其响应波来求该缺陷的深度方向的位置及/或大小。
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公开(公告)号：CN107462581A
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201710398492.8
申请日：2017-05-31
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01N21/88
Abstract: 提供一种能够一次检查目标物体的测量区域并且在测量区域内没有不一致发生的缺陷检测装置。缺陷检测装置(10)包括：用于在目标物体S内产生弹性波的产生单元(信号发生器11和振动器12)；用于在目标物体S的表面的测量区域上进行频闪照明的照明单元(脉冲激光光源13和照明光透镜14)；以及用于通过控制弹性波的相位以及频闪照明的定时，集中地测量关于弹性波的至少三个相互不同的相位在测量区域内每个点处的法线方向上的位移的位移测量单元(散斑剪切干涉仪15)。测量区域内的缺陷基于通过位移测量单元被获取的关于至少三个相位的在测量区域的每个点处的法线方向上的位移被检测。还包括一种缺陷检测方法。
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公开(公告)号：CN109416346B
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN201680087039.9
申请日：2016-06-21
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 一种声波传播影像化装置(10)，具备：声波赋予部(12)，其在作为测定对象的物体(11)的表面的规定位置处赋予时间波形由连续性的周期函数表示的声波；物理量测定部(15)，其对由于所述声波从所述规定位置起在所述表面传播而发生的周期性地变化的物理量进行测定，并且对该周期性的变化中的至少三个不同的相位处的物理量进行测定；周期函数获取部(23)，其基于所述至少三个不同的相位处的物理量，来求出表示该物理量的周期性的变化的周期函数。
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公开(公告)号：CN109030624B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201810601368.1
申请日：2018-06-12
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明提供能够容易地测量缺陷的深度的缺陷检测方法，其包括：位移统括测定工序，一边在被检查物体的整个检查区域内激发第1弹性波，一边对该检查区域内的该被检查物体的整个表面进行频闪照明，并控制弹性波的相位和频闪照明的时刻，由此，在该弹性波的互不相同的至少3个相位下统括测定检查区域的各点的前后方向的位移；缺陷位置确定工序，根据该至少3个相位下的检查区域的各点的前后方向的位移来确定缺陷在该检查区域的表面上的位置即表面位置；和深度方向信息获取工序，从抵接在包含用缺陷位置确定工序确定的表面位置的所述表面的限定区域内的探头朝表面位置的内部投射第2弹性波，根据其响应波来求该缺陷的深度方向的位置及/或大小。
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