角度检测系统以及角度检测方法

    公开(公告)号:CN112384754B

    公开(公告)日:2023-11-07

    申请号:CN201980046329.2

    申请日:2019-07-26

    Inventor: 安富敏

    Abstract: 本发明涉及角度检测系统以及角度检测方法。提供能够对处于远程的测定对象物的角度进行测定的技术。角度检测系统(90)具备安装于测定对象物(14)的编码器图案部(13)、以及测量装置(50)。编码器图案部(13)具备圆柱形状的基座(13A)、以及设置于基座(13A)的外周侧面而示出周向相对于规定的基准方向的角度的编码器图案(13B),编码器图案(13)具备将入射的光循环反射的反射材料层(120)、以及配置在反射材料层(120)的前面的编码器图案层(130),该编码器图案层(130)由使第一方向的偏振光成分透射的第一偏振滤波器(130a)以及使与第一方向不同的第二方向的偏振光成分透射的第二偏振滤波器(130b)的组合构成,测量装置(50)具备:朝向编码器图案(13B)出射读取光的读取光发光部(69);光学地取得编码器图案(13)表示的信息的信息取得部(55);基于信息来运算测量装置(50)相对于基准方向的角度(θT)的运算控制部(64);以及第一或者第二偏振滤波器(55B),配置在从上述读取光发光部(69)出射并被上述编码器图案(13B)反射而向上述信息取得部(55)的受光面入射的光的光路上。

    角度检测系统以及角度检测方法

    公开(公告)号:CN112469968B

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN201980046327.3

    申请日:2019-07-26

    Inventor: 安富敏

    Abstract: 本发明涉及角度检测系统以及角度检测方法。提供能够对处于远程的测定对象物的角度进行测定的技术。角度检测系统(90)具备安装于测定对象物(14)的编码器图案部(13)以及测量装置(50),编码器图案部(13)具备圆柱形状的基座(13A)以及设置于该基座(13A)的外周侧面而表示周向相对于规定的基准方向(RD)的角度的编码器图案(13B),测量装置(50)具备:光学地取得编码器图案(13B)所示的信息的信息取得部(55);以及基于信息运算出测量装置(50)相对于基准方向(RD)的角度的运算控制部(64)。

    角度检测系统以及角度检测方法

    公开(公告)号:CN112469968A

    公开(公告)日:2021-03-09

    申请号:CN201980046327.3

    申请日:2019-07-26

    Inventor: 安富敏

    Abstract: 本发明涉及角度检测系统以及角度检测方法。提供能够对处于远程的测定对象物的角度进行测定的技术。角度检测系统(90)具备安装于测定对象物(14)的编码器图案部(13)以及测量装置(50),编码器图案部(13)具备圆柱形状的基座(13A)以及设置于该基座(13A)的外周侧面而表示周向相对于规定的基准方向(RD)的角度的编码器图案(13B),测量装置(50)具备:光学地取得编码器图案(13B)所示的信息的信息取得部(55);以及基于信息运算出测量装置(50)相对于基准方向(RD)的角度的运算控制部(64)。

    角度检测系统以及角度检测方法

    公开(公告)号:CN112384754A

    公开(公告)日:2021-02-19

    申请号:CN201980046329.2

    申请日:2019-07-26

    Inventor: 安富敏

    Abstract: 本发明涉及角度检测系统以及角度检测方法。提供能够对处于远程的测定对象物的角度进行测定的技术。角度检测系统(90)具备安装于测定对象物(14)的编码器图案部(13)、以及测量装置(50)。编码器图案部(13)具备圆柱形状的基座(13A)、以及设置于基座(13A)的外周侧面而示出周向相对于规定的基准方向的角度的编码器图案(13B),编码器图案(13)具备将入射的光循环反射的反射材料层(120)、以及配置在反射材料层(120)的前面的编码器图案层(130),该编码器图案层(130)由使第一方向的偏振光成分透射的第一偏振滤波器(130a)以及使与第一方向不同的第二方向的偏振光成分透射的第二偏振滤波器(130b)的组合构成,测量装置(50)具备:朝向编码器图案(13B)出射读取光的读取光发光部(69);光学地取得编码器图案(13)表示的信息的信息取得部(55);基于信息来运算测量装置(50)相对于基准方向的角度(θT)的运算控制部(64);以及第一或者第二偏振滤波器(55B),配置在从上述读取光发光部(69)出射并被上述编码器图案(13B)反射而向上述信息取得部(55)的受光面入射的光的光路上。

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