公开(公告)号：CN110537245A

公开(公告)日：2019-12-03

申请号：CN201880025759.1

申请日：2018-07-27

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 和食雄大 ,  佐川栄寿

IPC: H01L21/027 ,  B05C11/08 ,  B05C11/10 ,  B05D1/40 ,  B05D3/00

Abstract: 本发明的衬底处理装置具备旋转保持部、涂布液喷出系统、第1喷出速率调整部及第2喷出速率调整部。旋转保持部将衬底以水平姿势保持并使它旋转。涂布液喷出系统将涂布液喷出到通过旋转保持部而旋转的衬底的一面的中心部。第1喷出速率调整部在第1期间，将从涂布液喷出系统的涂布液的喷出速率调整为第1速率，以使从涂布液喷出系统喷出到衬底的一面的中心部的涂布液在衬底的一面上扩展。第2喷出速率调整部在第1期间之后的第2期间，将从涂布液喷出系统的涂布液的喷出速率调整为高于第1速率的第2速率，以使扩展到衬底的一面的整体的涂布液的厚度增加。

公开(公告)号：CN110537245B

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN201880025759.1

申请日：2018-07-27

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 和食雄大 ,  佐川栄寿

IPC: H01L21/027 ,  B05C11/08 ,  B05C11/10 ,  B05D1/40 ,  B05D3/00

Abstract: 本发明的衬底处理装置具备旋转保持部、涂布液喷出系统、第1喷出速率调整部及第2喷出速率调整部。旋转保持部将衬底以水平姿势保持并使它旋转。涂布液喷出系统将涂布液喷出到通过旋转保持部而旋转的衬底的一面的中心部。第1喷出速率调整部在第1期间，将从涂布液喷出系统的涂布液的喷出速率调整为第1速率，以使从涂布液喷出系统喷出到衬底的一面的中心部的涂布液在衬底的一面上扩展。第2喷出速率调整部在第1期间之后的第2期间，将从涂布液喷出系统的涂布液的喷出速率调整为高于第1速率的第2速率，以使扩展到衬底的一面的整体的涂布液的厚度增加。