公开(公告)号：CN115365085B

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN202210531848.1

申请日：2022-05-16

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 熊田雄介 ,  徐飞

IPC: B05D1/00 ,  B05C5/02 ,  B05C11/08 ,  B05D3/00 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明涉及一种涂布处理方法及涂布处理装置。本发明的衬底具有上表面及下表面，在上表面形成着圆环状的凸部。衬底以水平姿势保持。对所述衬底的上表面供给涂布液。在涂布液的供给中或供给后通过使衬底绕铅直轴旋转而对整个上表面扩展涂布液。之后，通过使衬底绕铅直轴旋转而将衬底干燥。在使衬底干燥时，在第1时点到第1时点之后的第2时点之间，使衬底以第1转速旋转。另外，在第2时点到第2时点之后的第3时点之间，使衬底以高于第1转速的第2转速旋转。

公开(公告)号：CN114141681A

公开(公告)日：2022-03-04

申请号：CN202111032159.8

申请日：2021-09-03

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 徐飞 ,  熊田雄介 ,  甲盛谆

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明涉及一种旋转保持装置及具备该旋转保持装置的衬底处理装置。旋转保持装置具备：吸附保持部，具有吸附保持衬底的下表面中央部的上表面；及旋转驱动部，使吸附保持部绕铅垂轴旋转。上表面具有周缘部区域、及被周缘部区域包围的中央部区域。在周缘部区域设置有多个第1抽吸孔，且在中央部区域设置有多个第2抽吸孔。周缘部区域中的多个第1抽吸孔的面密度比中央部区域中的多个第2抽吸孔的面密度大。多个第1抽吸孔的面密度及多个第2抽吸孔的面密度也可以不满足所述关系。在该情况下，在旋转保持装置中设置对未由吸附保持部吸附保持的衬底的下表面周缘部的至少一部分的温度进行调整的温度调整部。

公开(公告)号：CN115365085A

公开(公告)日：2022-11-22

申请号：CN202210531848.1

申请日：2022-05-16

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 熊田雄介 ,  徐飞

IPC: B05D1/00 ,  B05C5/02 ,  B05C11/08 ,  B05D3/00 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明涉及一种涂布处理方法及涂布处理装置。本发明的衬底具有上表面及下表面，在上表面形成着圆环状的凸部。衬底以水平姿势保持。对所述衬底的上表面供给涂布液。在涂布液的供给中或供给后通过使衬底绕铅直轴旋转而对整个上表面扩展涂布液。之后，通过使衬底绕铅直轴旋转而将衬底干燥。在使衬底干燥时，在第1时点到第1时点之后的第2时点之间，使衬底以第1转速旋转。另外，在第2时点到第2时点之后的第3时点之间，使衬底以高于第1转速的第2转速旋转。