公开(公告)号：CN115692253A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202210890401.3

申请日：2022-07-27

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 铃木达大 ,  泷昭彦 ,  西村优大

IPC: H01L21/67 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置。各分支配管具有供环境气体从主配管流入的内部空间。下游闸板设于各分支配管中的比上游闸板靠下游侧的位置，开闭分支配管。上游切换部件在上游空间允许外部环境气体的流入的状态以及上游空间禁止外部环境气体的流入的状态之间切换上游空间的状态。下游切换部件在下游空间允许外部环境气体的流入的状态以及下游空间禁止外部环境气体的流入的状态之间切换下游空间的状态。

公开(公告)号：CN109791884A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201780057738.3

申请日：2017-06-08

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 铃木达大 ,  德利宪太郎 ,  西村高志 ,  结城嘉晓 ,  玉置康人 ,  宫路信行 ,  平下友美 ,  内田博章 ,  奥谷洋介

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/304

Abstract: 本发明的目的在于提供抑制衬底的污染的技术。衬底处理装置具备：衬底保持部，其水平地保持衬底；处理液供给部，其向被保持于衬底保持部的衬底供给处理液；和受液部，其围绕衬底保持部的周围，并接收从衬底飞散的处理液。另外，受液部的内周面具有在被保持于衬底保持部的衬底侧露出的多个槽，多个槽各自的延伸方向包含铅垂方向的分量。因此，处理液的液滴易于在槽内合流并因自重而落下。

公开(公告)号：CN109791884B

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN201780057738.3

申请日：2017-06-08

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 铃木达大 ,  德利宪太郎 ,  西村高志 ,  结城嘉晓 ,  玉置康人 ,  宫路信行 ,  平下友美 ,  内田博章 ,  奥谷洋介

IPC: H01L21/304